近单晶硅密度液体压缩系数精密测量方法.pdfVIP

第35卷 第2期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．35No．2 2014年2月 ChineseJournalofScientificInsturment Feb．2014 近单晶硅密度液体压缩系数精密测量方法，l： 王金涛，刘子勇，佟 林，罗志勇，李 占宏 (中国计量科学研究院 北京 100013) 摘 要：近单晶硅密度液体 (DSL一2329)广泛应用于单晶硅材料的高精密加工工艺中，其液体压缩系数准确测量对于单晶硅加T 质量控制具有重要意义。为提高已有测量方法的精度，研究了一种基于单晶硅球静液悬浮原理的DSL一2329液体压缩系数测量方 法。将单晶硅球放置于充满DSL-2329液体的密闭容器内，通过改变DSL一2329液体的温度和静压力可以进行液体密度的微量调 节，从而实现单晶硅球在液体中的静液悬浮。对于一个单晶硅球而言，可以在不同液体温度和静压力条件下实现静液悬浮，其中 温度和静压力满足线性模型，测量出这个线性常数就可以计算出液体压缩系数。设计了单晶硅球静液悬浮测量系统，实现水浴温 控系统在 3h之内可以保持在 ±1．0×10 ℃的范围内，通过PID控制系统调节静压力实现单晶硅球的静态悬浮。实验数据表明， 由三溴丙烷和二溴乙烷组成的DSL一2329液体压缩系数为5．15×10 。Pa～，验证了单品硅球静液悬浮测量方法的有效性。 关键词：单晶硅球 ；静液悬浮；近硅密度液体；压缩系数 ；热膨胀系数 ；测量 中图分类号：TB9 文献标识码 ：A 国家标准学科分类代码：460．4030 Precisionmeasurementmethodofcompression coefficientfordensitystandard liquid closetosinglecrystalsilicon WangJintao，LiuZiyong，TongLin，LuoZhiyong，LiZhanhong (NationalInstituteofMetrology，Bering100013，China) Abstract：Thedensitystandardliquidat2329kg／m closetosinglecrystalsilicon(DSL-2329)iswidelyusedinthe precisemachiningofsiliconsinglecrystalmaterial，and theaccuratemeasurementofthevolumecompression coeffi— cientofthisliquidplaysan importantrolein thequalitycontrolofsilicon singlecrystalmachining．Toimprovethe measurementaccuracyoftheexistingmeasurementmethod，ameasurementmethodbasedon hydrostaticsuspension principleisdiscussedtodeterminethecompressioncoefficientofDSL-2329liquid．Thesinglecrystalsphereisim— mersedintoasealedvesselfullofDSL一2329．Thedensityoftheliquidcanbeadjustedthroughchangingtheliquid temperatureandstaticpressure，andthehydrostaticsuspensionofthesiliconsinglecrystalsphereisachieved．Thesil- iconsinglecrystalspherecouldbesuspendedatdifferenttemperaturesandstaticpressures，wherethetemperatureand staticpress