表面二体碰撞及散射.pdfVIP

. 第三章：表面二体碰撞及散射 3.1 表面物理过程的一般描述 • 中性粒子的沉积 • 吸附过程 plasma • 解吸附过程 • 离解过程 中性 离 溅 二次 • 离子注入过程 粒子 子 射 电子 • 离子背散射 • 原子级联运动 atoms • 表面原子溅射 • 溅射原子再沉积 • 表面原子中性化过程 • 二次电子发射过程 . 1、离子注入 如果入射离子的速度方向与固体表面的夹角大于某一临界 角，它将能够进入固体表面层，与固体中的原子发生一系列的 弹性和非弹性碰撞，并不断地损失其能量。当入射离子的能量 损失到某一定的值（ 约为20eV左右 ) 时，将停止在固体中不 再运动。上述过程被称为离子注入过程。 atoms Ion E . 离子注入的结果将使固体的表面成分发生改变。入射离 子的能量损失可以分为两部分： (1) 一部分用于靶原子核的反冲运动，分别对应于核阻止 本领; (2) 另一部分用于激发或电离靶原子核外的电子，和电子 阻止本领 。 对于低能离子，核阻止本领是主要的，而对于高能离子， 电子阻止本领则是主要的。 . 2、原子的级联运动 如果固体中的原子在同入射离子碰撞时获得能量大于某一阈值时，将做 反冲运动。该反冲原子将进一步与其它静止原子发生碰撞，形成新的反冲原 子。这样依次下去，形成一系列原子的运动，被称为原子的级联运动。如果 初始时固体是一个完美的晶体，那么原子级联运动的结果将在固体表面层产 生缺陷或原子的位错。经退火后，固体表面将会非晶化，从而改变了固体的 表面结构。 . 3、溅射现象 当级联运动的原子运动到固体表面时，如果其能量大于表面的势 垒，它将克服表面的束缚而飞出表面层，这就是溅射现象。溅射出来的 粒子除了是原子外，也可以是原子团。溅射出来的原子进入鞘层后，与 鞘层内的离子碰撞后将发生电离，形成新的离子。溅射原子或原子团也 可以穿过鞘层进入等离子体，并捕获等离子体中的电子，形成带负电的 粒子或粒子团，通常称为“尘埃粒子”。尘埃粒子的存在将造成对等离子 体的污染，这对采用等离子体技术制备高质量的薄膜材料是非常有害 的。 . 4 、二次电子发射 当固体表面受到载能粒子轰击时，产生电子从表面发射出来的现象被 称为二次电子发射。每入射一个载能粒子所发射出来的电子数称为二次 电子发射系数。一般地，离子、电子、中性原子或分子与固体表面碰撞 时，均可以产生二次电子发射。在PSII技术中，由于对基体施加较高的 负偏高压，将有大量的二次电子从基体表面上发射出来。这些二次电子 的出现，一方面改变了鞘层电位的大小和分布，另一方面它们经鞘层电 场加速后，以较高的速度撞击到器壁表面，产生较强的X射线，这对人体 的健康是非常有害的。 二次电子 离子