计量线高次谐波的定量研究.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ５ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．５ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ５ Ｍａ ２００７ 　 　 　　 ｙ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０５０６４００６ 　 计量线高次谐波的定量研究 １ ２ １ １ １ ２ 周洪军 ，郑津津 ，霍同林 ，张国斌 ，戚泽明 ，钟鹏飞 （ 中国科学技术大学 国家同步辐射实验室，安徽 合肥 ； １． ２３００２９ ２．中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 ２３００２６） 摘要：采用自制的 ／ 金膜自支撑透射光栅和美国 公司的 光电二极管探测器，定量研究了光谱辐 ８４０ｍｍ ＩＲＤ ＡＸＵＶ１００Ｇ 射标准和计量光束线在 波段的高次谐波。研究了 、 和 滤片在不同能量范围对高次谐波的抑制作 ５ １４０ｎｍ ＡｌＳｉＮ Ｚｒ ～ ３ ４ 用，给出了实验数据和曲线。实验结果显示：在 波段，不用任何滤片高次谐波的信号强度 ；在 ５ １５ｎｍ ７％ ５ ３４ｎｍ ～ ＜ ～ 波段，适当的选用 、 和 滤片可有效地抑制高次谐波，将高次谐波占基波的积分信号强度比例控制在 ， ＡｌＳｉＮ Ｚｒ ＜１４％ ３ ４ 经探测器的量子效率修正后高次谐波的百分比在 ６．５％以内。在经过 Ｍ Ｆ 窗滤波的１１５ １４０ｎｍ波段，高次谐波的衍 ｇ２ ～ 射峰几乎完全被抑制。这一研究为软 射线和极紫外的光谱计量、探测器定标和光学元件性能测试奠定了基础。 Ｘ 关 键 词：光谱定标；光束线；高次谐波；光谱计量 　 　 中图分类号： 文献标识码： Ｏ４３４．１２ Ａ