低温环境下犕犈犕犛微构件的动态特性及测试系统.pdfVIP

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2017-09-04 发布于重庆
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低温环境下犕犈犕犛微构件的动态特性及测试系统.pdf

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第卷第期光学精密工程１８１０　Ｖｏｌ．１８Ｎｏ．１０　　　　　　　　　　ＯｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ　　　　　　　年月　ｐｇｇ２０１０１０Ｏｃｔ．２０１０　　　文章编号（）１００４９２４Ｘ２０１０１０２１７８０７　低温环境下犕犈犕犛微构件的动态特性及测试系统，，２１２２１２佘东生，王晓东，张习文，王立鼎（大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连；１．１１６０２４２．辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁大连１１６０２４）摘要：研究了微机电系统（）微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律，从理论上分析了改变环境温ＭＥＭＳ度对微悬臂梁谐振频率的影响，并对低温环境下微构件的动态特性测试技术进行了研究。研制了低温环境下ＭＥＭＳ动态特性测试系统，采用半导体冷阱实现低温环境，利用压电陶瓷作为底座激励装置的驱动源，通过底座的冲击激励，使微悬臂梁处于自由衰减振动状态，使用激光多普勒测振仪对微悬臂梁的振动响应进行检测，从而获得微悬臂梁的谐振频率。利用研制的测试系统，在－５０℃～室温的环境下对单晶硅微悬臂的谐振频率进行了测试，结果表明，随着温度的降低，微悬臂梁的谐振频率略有增大，其谐振频率的温度变化率约为／，与理论分析的结果基本一致。该测试－０．２６３ＨｚＫ装置能够有效地完成在－５０℃～室温环境下微构件的动态特性测试。关键词：微机电系统；动态特性；低温；微悬臂梁；冲击激励　　中图分类号：；文献标识码：：／ＴＨ８２５ＴＨ７０３Ａ犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２１７８　　　　犇狀犪犿犻犮狋犲狊狋犻狀狅犳犕犈犕犛犿犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲犪狀犱犻狋狊犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狔犵狊狊狋犲犿犪狋犾狅狑狋犲犿犲狉犪狋狌狉犲狊狔狆，，２１２２１２，，，ＳＨＥＤｏｎｓｈｅｎＷＡＮＧＸｉａｏ