平面固态高压单触发开关的设计、制作与性能的的研究.pdfVIP

硕士论文 平面固态高压单触发开关的设计、制作与性能研究 摘 要 爆炸箔冲击片起爆技术在提高火工品的起爆安全性和瞬时性方面具有明显的优势， 高压触发开关作为起爆回路中的关键元件，对冲击片雷管成功引爆钝感炸药有着重要影 响，目前爆炸箔起爆回路用高压开关通常为三电极火花隙开关以及真空开关等，它们的 体积较大、不易集成，同时非常昂贵。本文创新地设计了一种新型的高压开关，此类开 关具有平面结构、价格低廉、容易制备等优点，而且可以直接集成在爆炸箔起爆装置中 的带状铜箔传输线上，主要从开关的制备工艺、触发极等离子体特性、开关放电性质等 方面进行了研究，主要结论如下： (1)借助射频磁控溅射，应用湿法刻蚀工艺和图形反转工艺成功制备出平面固态 单触发高压开关，确定了Cu薄膜沉积、AZ5200光刻胶的最佳工艺参数。 (2)电爆伏安曲线表明，触发极Cu桥膜的匹配电容器充电电压在1500V左右； 高速摄影显示，电爆过程产生的等离子体强度高，最大尺寸大于30001am；光谱仪采集 到的Cu等离子体的发射谱线清晰而且它们的独立性相对较好，从发射光谱的发展过程 结果表明：随着时间的发展，Cu等离子体温度在开始时