用于非制冷红外探测的铁电薄膜材料器件研究.pdfVIP

二oo六年全国光电技术学术交流揪论文集(F) 用于非制冷红外探测的铁电薄膜材料器件研究 褚君浩1t2 (1．中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室，上海200083； 2．华东师范大学华东师大上海技物所成像信息联合实验室，上海200062) 摘要s介绍了课题组近年来对于铁电薄膜的制备、微结构控制生长、材料特性研究及其红外探测技术基 础的研究结果．研究涉及铁电薄膜的生长规律、以及铁电、介电、光电特性的物理研究以及铁电极化理论的 ffZT)、 外光学常数，获得铁电薄膜电子结构、尺寸效应，界面效应及相关微观物理机制的多项结果；’解决了集成铁 电薄膜非制冷红外焦平面列阵材料器件制备中的有关物理问题和关键技术，研制出性能优良的“上电极吸收 层臌电薄脯底电极／隔热层”铁电薄膜复合结构；探索了一种光，光读出方式；研制出具有极化自锁定特性的 新型PMNT铁电薄膜材料；发明了与硅基读出电路兼容的铁电薄膜及导电氧化物电极的低温生长方法；制备 了256xl线列器件并