基于Micro-PIV微观流场检测技术.pdfVIP

第4l卷第9期 机械工程学报 v01．41N0．9 2005年9月 s印． 2OO5 CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERING 基于Micro．PIV的微观流场检测技术木 谢海波 傅新 杨华勇 (浙江大学流体传动及控制国家重点实验室杭州310027) 摘要：介绍了一种针对微观流场检测数字粒子图像测速技术，通过添加荧光显微装置，改进激光入射与照明方式、 聚焦平面控制以及纳米级示踪粒子布朗运动误差消除算法等软硬件方面的技术创新，解决了微观检测的关键问 题。针对微流体特征尺度小、精度要求高的特点，建立了具有自主知识产权的Micro—PIV微流场测试平台，并 就几种典型微观流场进行了检测。试验结果表明该测试技术可对微米级稳态、瞬变流场进行全流场速度分布的检 测，各项性能指标达到国际先进水平。 关键词：Micr0一PIv微流控系统示踪粒子布朗运动 TH39 中图分类号：THl37 间隔的两个激光光脉冲作为光源，在底片上亦即记 O前言 录了示踪粒子在不同时刻的两幅粒子图像，其中也 就包括了激光切面上许多粒子的唯一信息。在已知 近10年来，随着MEMS加工技术的发展，微时间间隔内，测量流体质点(粒子作为示踪子)的位 流体器件及系统得到了长足发展，已经衍生出生物 移，确定该点的速度的大小和方向【2J。 芯片、微流控芯片、微泵、微阀和微流量传感器等 H：lim兰二苎：lim堡 (11 、’ J。目 r2一^乙一厶 出_o△f 一系列具有广泛应用前景的产品和原理样机【1 前国内在该领域的研究与发达国家差距不大，在流 式中口——速度矢量 动注射、电泳芯片和生物芯片等方面已拥有一批具 x1，娩——粒子在f1、如时刻位置 有自主知识产权的先进技术及产品。但是，这些已 研制的微流体器件及系统面临着一个急需解决的技 基础上发展起来的一项新型微流场可视化技术。与 术瓶颈——微流场检测与系统优化，这一技术难点 制约了微流控器件的持续发展与创新。从国外相关 ①通过显微光学系统拍摄微观尺度的流场图像。② 行业的发展来看，目前解决这一问题的最有效手段 不采用片光源形式，由于微流控器件的尺度小于毫 米级，而激光片光源为保证光强，其厚度至少为0．5 是微流场的无接触式粒子图像测速技术(Micro particleimagevelocime缸y，Micro—PⅣ)，这一技术 式来定位流场平面，而是采用高数值孔径的显微物 仅有美国TSI公司等几个PIV设备商在进行产品化 推广，尚未有成熟产品面世。国内在传统PIV技术 镜控制其聚焦平面，而光源采用全场照射方式。⑨ 采用亚微米～纳米级荧光示踪粒子，为了尽量不使 领域具有多年的积累，但在Micro—PIV技术与设 备的研发方面几乎空白。 示踪粒子的加入而改变原流场的流动状况，一般在 微流体Micro—PⅣ试验中使用的示踪粒子直径约 1 原理