高精度激光平面干涉测量系统误差的研究分析方法.pdfVIP

第31卷第6A期 计 量 学 报 V01．31．№6A 2010年12月 ACTAMEl’ROLOGICASINICA December，2010 doi：10．3969／j．issn．1000·1158．2010．z2．29 高精度激光平面干涉测量系统误差的研究分析方法 张恒，黄杨， 康岩辉 (中国计量科学研究院，北京100013) 摘要：叙述了Fizeau激光平面干涉系统的测量原理。依据ISO发布的测量不确定度表示指南，对Fizeau型高 精度移相激光平面干涉测量系统的误差进行了系统分析，给出了高精度激光平面干涉仪的各项误差及总误差，其 合成标准不确定度为2．63nln。该研究分析方法可适用于同类仪器的测量不确定度评价。 关键词：计量学；激光平面干涉仪；菲索；误差分析 中图分类号：TB921 文献标识码：A 文章编号：1000—1158(2010)6A-0124-04