超薄SiO_2膜电子隧穿及低场传输电流温度关系.pdfVIP

　第 19 卷第 10 期　　　　　　　　半　导　体　学　报　　　　　　　 . 19, . 10　 V o l N o 　1998 年 10 月　　 　　　 　　　　　　 . , 1997　 CH IN ESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S O ct 超薄 SiO 2 膜电子隧穿及低场 传输电流的温度关系 冯文修　　陈蒲生　　　　　　　　黄世平 ( ) ( ) 华南理工大学　应用物理系　广州　510641 　　 香港中文大学　电子工程学系 提要　在N Si〈100〉衬底制作了 10nm 超薄 SiO 2 作介质膜的