光学多层膜热应力模型的研究.pdfVIP

___________________________________________________________________________ 光学多层膜热应力模型研究 1,2 1 1 张耀平 ， 张云洞 ， 凌宁 ， 许鸿 （1．中国科学院光电技术研究所四川 成都 610209 2 ．中国科学院研究生院） 摘要：对光学多层膜热应力的计算，在以前的论文中已经存在很多模型，但是，由于各层之间必须满足一 定的条件，随着膜层层数的增加，获得闭合解的困难性会增加，所以，在现存的模型中，为了简化计算， 通常假定整个膜层具有一个弹性模量，从而 以很容易的获得闭合解，或者通过计算机进行数值模拟，而 本文提出的分析模型，获得闭合解的困难性与膜层的层数相互独立，因而 以很易获得准确解。 关键词: 残余应力； 光学多层薄膜系统 中国分类号：0484.1