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第 26 卷 第 11 期 半 导 体 学 报 Vol . 26 No . 11
2005 年 11 月 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S Nov . ,2005
量子点的原子力显微镜测试结果分析 :
数学形态学的实现
1 1 2 2 2
金 峰 鲁华祥 李 凯 陈涌海 王占国
( 1 中国科学院半导体研究所 神经网络实验室 , 北京 100083)
(2 中国科学院半导体研究所 材料开放实验室 , 北京 100083)
( )
摘要 : 提出了从原子力显微镜 A FM 照片中分割出量子点的算法 ,可以利用程序 自动地统计照片中量子点的各种
数据. 该算法基于数学形态学的方法 ,包括三个步骤 :首先根据照片中每个局部最高点的 dynamics 值 ,利用标记分
水岭分割方法初步将每个量子点分开 ; 第二步根据量子点的定义 ,从每个区域中提取出量子点 ;第三步 ,为了防止
分割过程中将部分衬底一起提取 ,利用量子点的高度面积分布 ,将多余衬底滤去. 该算法具有快速 、对噪声不敏感
的特点 ,能准确地提取量子点的高度 、横向尺寸 、体积等数据.
关键词 : 数学形态学 ; 分水岭变换 ; 量子点检测 ; 自动统计
EEACC : 2520D PACC : 2852 F ; 4280W
中图分类号 : TN 304054 文献标识码 : A 文章编号 : 02534 177 (2005) 112 12007
人曾研究过这样的算法[ 6～8 ] . 在他们工作的基础上 ,
1 引言 本文的算法具有如下创新 : ( 1) 由于衬底表面起伏情
况复杂 ,对所有量子点选取一个统一的衬底基准高
近年来 ,量子点结构材料以其优越的光学性质 度在一些情况下是不合理的. 本算法根据每个量子
在理论和实验上引起了广泛关注. 量子点的尺寸 、形 点周围衬底的具体情况选取其衬底基准高度. ( 2)
状 、密度等对其器件性能有直接影响 ,获得这些统计 A FM 针尖在平衡位置附近振动会造成背景噪声 ,
数据对器件设计有重要意义[ 1～3 ] . 目前表征量子点 A FM 针尖的尺寸和形状也会对量子点的识别造成
( ) ( )
表面形貌最常用的手段是原子力显微镜 A FM . 根 影响 ,而本算法对这些干扰具有很强的容错性. 3
据 A FM 的测量原理 ,A FM 针尖在样品表面扫描 , 对于点密度很高的量子点样品 ,本算法有 良好的统
在扫描范围中等间隔地在 x 和 y 方向上采样若干 计结果. (4) 本算法对纳米颗粒的形状具有很强的适
个数据点 ,并测量出这些点的高度值. 测量后的原始 应性 ,能识别包括环形量子点、甚至纳米尺寸坑洞在
数据可以以图像形式直观地提供给测试者. 内的多种形状的纳米颗粒. (5) 统计结果包含更多信
通过 A FM 图像只能粗略地知道样品的形貌特 息 :例如
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