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- 约 75页
- 2017-09-04 发布于江苏
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摘要
本论文分两步研究了钛酸铅(PT)系铁电材料的制备工艺技术、物化结构
表征及铁电、介电、热释电性能。首先我们以铁电陶瓷为研究对象,利用传统工
艺方法制备了铁电PZT陶瓷靶材,并对掺杂、组分、工艺等因素对陶瓷块材的
介电、铁电性能的影响进行了探讨。然后以铁电薄膜材料为研究对象,采用溶胶
~凝胶(Sot—Gel)法制备了PT系铁电薄膜,对薄膜的形貌、厚度、结晶等性能
进行了表征,对铁电薄膜材料的介电、铁电、热释电性能进行了研究分析。主要
内容如下:
1、采用传统陶瓷工艺制备了复合掺杂ca、sr和La三元素的PZT陶瓷。着
重研究了Zr/Ti及退火温度对PZT陶瓷性能的影响,研究发现:此二因素都是影
响PZT样品性能的关键因素。随Zr/Ti值在0.4/0.6到0.55/0.5范围内增大,
样品的剩余极化值只、介电常数r、损耗因子留J等参数均基本呈现增大趋势。
这是因为Zr/Ti在0.53/0.47的相界附近晶格畸变会发生突变,在此区域铁电体
结构较松弛,介电常数较大,内耗也较大。但烧结温度对不同组分的样品性能的
影响没有显现出特别明显的规律。
2、着重对掺La”、Mn”对PZT陶瓷结构与性能的影响作了研究和探讨,通过
对添加两物质的样品的介电、铁电性能的比较发现:掺La”可以增大剩余极化值
和损耗;掺杂Mn”可以降低损耗;同时加入La”、Mn”可以调整PZT性能得到理想
的效果。Pb过量0.05mol、Zr/Ti为55/45、掺La”量为2
atm%、掺Mn”量为O.15wt%
的PZT组分,在1200℃烧结,保温90分钟得到的陶瓷材料具有良好的铁电和介
电性能:矩形度良好的电滞回线、剩余极化值只为40“c/cm2、矫顽场基为
瓷靶材在脉冲激光沉积法(PLD)制备铁电薄膜的工艺中得到应用。
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3、采用Sol—Gel法成功制备了PbTiO,铁电薄膜,厚度为0.8
m,薄膜连续、
致密、无孔洞。对采用传统热处理和快速热处理两种方式晶化的PbTiO:,薄膜性
能进行比较发现:快速热处理方式晶化的薄膜电滞回线标准、极化强度大。这是
因为反应进行得迅速,有利于表面扩散,适合生成更多的晶核而造成的。
4、采用Sol—Gel法制备了PLT铁电薄膜。对薄膜的表面形貌、结晶性能、
薄膜厚度进行了表征。薄膜致密、连续、无孔洞,结晶良好,厚度为0.8微米。
研究了不同掺镧量(5%~28%)对薄膜介电、铁电性能的影响。对薄膜的热释电性
能进行了初步的探讨。由于添加镧产生铅空位,导致偶极子运动速率增大,而且
铅空位还会和临近的镧离子形成额外的偶极子,这些都使得薄膜的介电常数增
大。通过对不同掺镧量的PLT薄膜性能的综合比较可知PLT5(掺镧量为5%)薄膜
性能最优。
5、研究制各了同时掺杂La、ca的PLCT薄膜。采用旋转甩胶技术制膜,转
速6000转/分,甩胶lmin,对所制得的湿膜在红外灯下烘烤20min后直接甩胶,
重复甩胶一烘烤过程3次后,再进行5h升至550。C,保温lOmin的热处理,叠
加12层单层膜后,46℃/s的速率快速升至终烧温度,保温。制得连续、无孔洞,
性能良好的PLCT薄膜。
关键词:铁电材料,溶胶凝胶法,剩余极化值(只),介电常数(e)
电子科技大学硕士学位论文
ABSTRACT
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