Dictra软件在粉末冶金制备W-Ti合金研究中的应用.pdfVIP

The141／1NationalConferenceandMukilatcral OilPhase andMaterals SymposiumDiagrams Design Dictra软件在粉末冶金制备W．Ti合金研究中的应用 储茂友，陈洋，岳强，沈剑韵‘ 北京有色金属研究总院，北京。100088 摘要：采用真空热压烧结法制备了w．Ti合金样品，相结构和成分分析表明，样品中存在富W和富Ti两 个结构相同的体心立方相，两相相界明显，相界处出现成分突变，不存在明显的成分过渡层。随着烧结过 程的进行，Ti基体不断聚合，Ti颗粒不断长大，而其在合金中所占比例却逐渐减少，其中的Ti含量也不 断降低。利用Dictra软件对粉末烧结w．Ti合金进行了模拟计算，合金化过程主要通过Ti在w中的扩散来 完成，w颗粒不断长大，逐渐将Ti基体吞噬，最终形成单一的BCC(W，Zi)相，计算结果揭示了W-Ti粉末 烧结合金化机制。 W-1∞20删i合金薄膜具有高的热稳定性、低的电阻率、良好的粘附性以及对铜和硅 的稳定性，被广泛的应用于集成电路布线的扩散阻挡层，以阻止因金属铜向硅中扩散充当深 能级受主杂质而造成器件性能的大幅度下降0’31。溅射法是目前制作W厂ri系扩散阻挡层薄 膜的主要方法14J，此法的优点是所产生的薄膜致密度高、稳定性好。粉末冶金热压或热等静 压是制各溅射用W．Ti合金的主要手段，研究表明薄膜的性能和WTi合金的相结构及组织密 切相关15,6]，合金靶材中存在富Ti立方相以及组织晶粒过于粗大对制备高性能薄膜不利。至 今关于粉末冶金制各W．Ti合金的烧结机理，以及如何通过工艺优化制备低富Ti立方相含 对、^，Ti二元系粉末冶金过程进行模拟计算，同时采用真空热压法制备了V，Ti合金样品，并 对合金化过程进行了分析，结合计算和实验结果，探讨了热压过程的合金化机制，提出了粉 末冶金制各WTi合金的合理工艺制度。 1．热动力学计算 扩散系数会随体系中物料成分、温度等条件而变化，因此由某一反应条件下得到的扩散 系数，不能用来预测其他条件下的扩散速率。Dictra软俐7j主要用于研究扩散控制的动力学 问题，该程序将扩散系数分解为热力学因子和动力学因子，在Dictra的动力学数据库中储存 学数据库中调用。在具备体系热力学模型和所研究体系的热动力学数据库的条件下，运应用 DICTRA和Therrno．Calc软件，模拟相关体系的热动力学过程。 计算假设纯w和纯Ti两个方形粒子，组成的长度共0．1mm，分别计算了W-10wt％Ti， 化行为。 andMultilateral OilPhase andMaterals The14thNationalConference Diagrams Design Symposium k 、 F F一- ， k 宝 ZI- Ul 岩 2 岳 山 ： ： 舌 岙 兰 过∑ 兰 1 t：忡0= ≮