利用线性液膜的红外热像测定YBCO的湿法化学刻蚀启动时长.pdfVIP

维普资讯 第 27卷 第 6期 光 学 学 报 Vo1．27，No．6 2007年 6月 ACTA OPTICA SINICA June，2007 文章编号：0253—2239(2007)06—1039—5 利用线性液膜的红外热像测定YBCO的 湿法化学刻蚀启动时长* 刘 霖 叶玉堂 吴云峰 刘娟秀 方 亮 陆佳佳 ，1电子科技大学光 电信息学院，成都 610054 、 ＼2电子科技大学 电子工程学院微波 中心，成都 610054／ 摘要 ： 提出了一种测定 YBCO(YBa。Cu。O一)高温超导薄膜湿法腐蚀启动时长 的红外热像新方法 。该方法 的实 质是利用 YBCO腐蚀时必然有化学热吸收或释放 ，从而引起 YBCO表面液膜温度变化这一特点，通过红外热像实 时监测系统，采集液膜温度变化过程 的红外热像 ，从而判断反应启动时长 。理论分析和实验结果均表 明，YBCO表 面2mm 宽线性液膜是较为理想的监测对象 ，因其 同时具备温度变化信息和空间分布信息，可以将线性液膜 中心作 为理想的观测特征点；由滑动腐蚀液滴形成残留线性液膜具有温度变化灵敏度高的特点，YBc0(衬底为LaA10。) 竖直放置，可以表面避免液膜重力对启动时长的影响，获得更为准确的监测数据。由线性液膜的横向剖面灰度变 化得到在本实验条件下 YBCO薄膜与体积 比H。PO ：H。0—1：300腐蚀液 的反应启动时长介于 0．3N0．4S之间。 关键词 ： 薄膜光学；红外热像 ；化学腐蚀 ；启动时长 ；钇钡铜氧 中图分类号：TH741．4 文献标识码 ：A MeasurementofStartingDuration0fYBCO W etChem icalEtching with InfraredThermalImageofLinearLiquidFilm LiuLin YeYutang WuYunfeng LiuJuanxiu FangLiang LuJiajia f1SchoolofOpto-ElectronicInformation，UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu610054] I2Mcimu~veCenter，SchoolofElectronciEngineering，UniversityofElectronciScienceandTechnologyofhCina， I l Chena．du610054 J Abstract： A new infraredthermalimagemethodtomeasurethestartingdurationofYBCO high—temperaturesuper— conductor(HTS)film chemicaletchingwasproposed．Thetemperaturevariationofliquidfilm onYBCO surfacewas inducedbyabsorptionorreleaseofchemicalheatduringetchingofYBCO film ，andthestarttimeofreactioncanbe testedby real—timecollection of the infrared thermalimagein the course ofliquid film temperature variation． Theoreticalanalysisandexperimenatlresultsshow htatlinear liq