声表面波实现微流体垂向输运 Transporting Microfluids in Vertical Direction Using Surface Acoustic Wave.pdf

第39卷 分析化学(FENXIHUAXUE)研究报告 第12期 2011年12月 ChineseJournalof 1805～1810 AnalyticalChemistry 声表面波实现微流体垂向输运 章安良q·尉一卿1韩庆江1 吴增强2 夏兴华2 (宁波大学电子工程系，宁波315211)2(南京大学化学化工学院，南京210093) 摘要提出了声表面波实现微流体垂向输运方法，使得纸基微流器件具有前处理操作功能。在1280旋转Y 切割x传播方向的LiNb03基片上光刻叉指换能器对和反射栅，纸基微流器件通过贴合于压电基片表面的 PDMS置放于距压电基片上方2nlHl处，经功率放大器放大的RF信号加到叉指换能器对上，激发的两相声表 面波使得压电基片上待分析微流体垂向运动并到达纸基片实现纸基微流分析。采用不同体积红色染料溶液微 流体进行了垂向输运实验。结果表明：纸基片距压电基片一定间距时，实现压电基片上待分析微流体垂向输 运到其上方的纸基片决定于该微流体体积和所加的RF信号功率。采用本方法实现了纸基N02浓度检测。 关键词声表面波；微流分析；叉指换能器；纸基；微流体 l 引 言 微流控器件因具有试剂消耗量少、携带方便、操作简单等诸多优点，得到微流控学专家的关注【l~3】， 其应用也日益广泛。早期的微流分析器件主要以硅片【4】、玻璃【51和有机聚合物同等为基底材料。其制作 工艺较复杂，限制了其大规模推广。近来，纸基微流分析器件的出现n81使得微流分析器件存在的基片 和工艺成本问题得以解决。如Bruzewicz等嘲采用打印机将PDMS和己烷混合液打印于纸质基片上，制 作纸基微通道，制作成本十分低廉。Martinez等”川也采用打印方法研制了一种用于疾病诊断的纸基微 流分析器件，并成功应用于尿液中葡萄糖和蛋白质浓度检测。文献[1l，12]采用打印机分别发明了两种 不同纸基微通道的制作方法，使得纸基微通道的制作不仅快速、高效，且成本低廉。这些纸基微流器件 的出现，为即时检验系统的实际应用创造了条件㈣。然而，已报道的纸基片微流器件也存在有待改进之 处，如它们不能实现样品前处理操作，极大地限制了其应用范围。为此，有必要解决微流体在纸基微流 器件与具有微流前处理功能器件间的输运问题，才能使得纸基微流器件得到更广泛的应用。声表面波 器件因工艺成熟、成本较低等优点而应用于微流分析和微流前处理操作[14--I6】。因而，只要解决压电基片 上微流体可靠输运到纸基问题，那么，根据现有的压电基片强大的前处理操作功能，就可以使得纸基微 流分析具有压电微流器件的前处理功能。本研究在前期工作的基础上“7】，着重解决压电基片上微流体 到纸基微流器件的输运问题，使得微流分析既可利用声表面波进行样品前处理，又利用了纸基微流器件 的低分析成本特点。同时，只要更换修饰有不同指示剂的纸基片，即可实现不同样品的纸基微流分析。 本方法使基于纸基的微流分析具有样品前处理和检测的完整过程成为可能，提高了纸基微流器件的现 实应用性。 2 实验部分 2．1实验装置 采用声表面波实现纸基微流分析的实验装置如图1所示。压电基片为1280yx-LiNbO，材料，其上经 磁控溅射、光刻、刻蚀等一系列微电子工艺制作出一对叉指换能器和一对反射栅，叉指换能器的各叉指 周期均为144 nlHl，指对数均为35，叉指铝条厚度为500nm，在基片表面的 I．tm，叉指换能器的孔径为4．32 AF 声传播路径上涂覆一薄层Teflon 出)贴合于压电基片上方，其制作工艺和结构如图2所示。 201卜05-26收稿；201l一07_2l接受 本文系浙江省自然科学基金项目(No．Y1080118)，