类陨石坑表面类金刚石薄膜的制备及摩擦特性 Deposition and friction properties of DLC films with micro-crater-like structures.pdfVIP

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2017-09-03 发布于湖北
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类陨石坑表面类金刚石薄膜的制备及摩擦特性 Deposition and friction properties of DLC films with micro-crater-like structures.pdf

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第22卷第4期光学精密工程 V01．22No．4 andPrecision 2014年4月 Optics Engineering Apr．2014 文章编号1004—924X(2014)04—0934—08 类陨石坑表面类金刚石薄膜的制备及摩擦特性郑锦华1’弘，张冲，晁云峰1，李聪慧1 摘要：为了提高Dl。C(Diamond—likeCarbon)类金刚石薄膜与SAEl060碳素钢基材的结合强度，以延长发动机活塞环的使用寿命，研制了一种带有复合阳极的RF-DCCVD双电源化学气相沉积设备。利用锯齿结构的辅助阳极产生尖端放电，制备了具有微米类陨石坑非连续结构的D1，C薄膜，并利用Ball—on—Disk摩擦评价试验机评价了薄膜的摩擦特性。着重研究了极间距S—T对薄膜表面类陨石坑密度的影响；最后利用拉曼光谱仪分析了薄膜结构和成分。结果表明：在同样的电压下，类陨石坑的密度随着电极间距的增加而减小，最佳电极问距S—T为40～60mm，此时不仅具有比较适中的 N mm，施加载荷为3 类陨石坑密度，对DI．C薄膜的摩擦特性影响不大，而且具有较强的界面结合强度。当孓T为50 时，薄膜的破坏寿命达到了130万循环，比光滑表面的薄膜延长了30万循环。得到的结果显示微米类陨石坑非连续结构能够有效地释放膜内的残余压缩应力，延长SAEl060碳素钢基材上沉积类金刚石薄膜的使用寿命。关键词：类金刚石薄膜；界面强度；摩擦特性；破坏寿命；残余应力；拉曼光谱中图分类号：0484．2；TN304．055文献标识码：A doi：10．3788／OPE0934 andfriction DLC of films Deposition properties withmicro--crater-likestructures ZHENG Jin—hual’n，ZHANG Chon91，CHAOYun—fen91，LICong—huil (1．SchoolChemical and 450001，China； of EngineeringEnergy，ZhengzhouUniversity，Zhengzhou 2．HenanReborn 450001，China) EnergyTechnologyDevelopmentCo．，Ltd．，Zhengzhou *CorrPs夕。押dj行g a anda enhancetheadhesive betweenDiamond—likeCarbon(DLC)film Abstract：To strength substrateandto theservicelifeof RF—DCCVDdual SAEl060 rings，the power prolong enginepiston che