BCIM增感体系紫外光引发MMA聚合动力学及其应用.pdfVIP

第8卷第 l期 江 南 大 学 学报(自然 科 学 版) Vo1．8 No．1 2009年2月 JournalofJiangnanUniversity(NaturalScienceEdition) Feb． 2o09 BCIM增感体系紫外光引发MMA 聚合动力学及其应用 张永兴， 胡建琪， 张胜文， 刘 仁 ， 江金强， 刘晓亚 (江南大学 化学与材料工程学院，江苏 无锡 214122) 摘 要 ：采用光引发剂邻氯代六芳基双咪唑、增感剂4，4．二 (N，N．二甲基 ．氨基)苯甲酮和供氢体 N一苯基甘氨酸组成增感引发体系，研究了在高压汞灯照射下，增感体系中各组分与甲基丙烯酸甲 酯光聚合速率的关系；并在此基础上初步研究了该体系在液态光致抗蚀剂 中的应用。与常规 的引 发体系ITX／907相 比，邻氯代六芳基双咪唑增感体系得到的图像线条更清晰，边缘更陡直。 关键词 ：邻氯代六芳基双咪唑；光聚合；动力学 中图分类号：TQ630．1 文献标识码 ：A 文章编号：1671—7147(2009)01—0104—04 KineticandAppliedStudyofUV InitiatingPolymerization ofM MA byBCIM SensitiveSystem ZHANGYong-xing， HUJian—qi， ZHANG Sheng—wen， LIURen， JIANGJin—qiang， LIUXiao-ya (SchoolofChemicalandMaterialEngineering，JiangnanUniversity，Wuxi214122，China) Abstract：Theultravioletphotosensitiveinitiatingsystemiscomposedofbis[2一(o—chloropheny1)-4， 5一diphenylimidazole]，sesitizerN，N—bis(diethylamino)benzophenone(EMK)andhydrogendonors N—phenylglycine(NPG)．Undertheirradiationbyhighpressuremercurylamp，therelationship betweentheph0topolymerizati0n rateofMMA and concentration ofeachcomponentofthesystem ， includingBCIM，EMK，NPG andMMA wasstudied．The goodresultshavebeenobtained in the applicationofthesystem onphotoresist． Keywords：bis[2一(0一chloropheny1)-4，5一dipheny¨midazole]，ph0t0p0lymerizati0n，kinetics 近 10年来，光敏高分子材料 (如光致抗蚀剂、 受到了极大的关注 引。高放 』、徐锦棋 选用十二 光固化油墨、涂料和感光印刷版材等)发展迅速 。在 烷基硫醇(SH)作为供氢体，分别与增感剂 KC1、光 光敏高分子材料研究中，光固化速率是一项非常重 敏剂4，4一二 (N，N．二甲基一氨基)苯甲酮 (MK)和 要的指标 。因此，高效光敏引发体系的研究已成为 引发剂邻氯代六芳基双咪唑 (O—C1一HABI)组成光 当今研究热点。在众多的光敏引发体系中，六芳基 敏引发体系，研究了其在高压汞灯照射下引发甲基 双咪唑体系因其具有灵敏度高、稳定性好等特点， 丙烯酸甲酸(MMA)光聚合速率，并应用于PS版中， 收稿 日期：2008—10—27； 修订 日期：2008一l1—25。 基金项 目：国家 自然科学基金项 目(NSF。 作者简介：张永兴(1984一)，男，山东聊城人，高分子材料专业硕士研究生。 通讯作者