基于双共焦传感器de薄膜厚度测量技术.pdfVIP

第 44卷增刊 原 子 能 科 学 技 术 Vo1．44，Supp1． 2010年 9月 AtomicEnergyScienceandTechnology Sep．2010 基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术 杨蒙生，邢丕峰，高党忠，马小军，李朝阳 (中国工程物理研究院，四川 绵阳 621900) 摘要：研究了基于双共焦传感器的薄膜厚度测量技术，搭建实际系统对 自支撑Au、Mo膜进行测量。结 果表明，该系统有效消除了薄膜翘曲、不完全展平的影响，测量精度达到干涉仪水平。 关键词：共焦；薄膜；厚度；测量 中图分类号：TL33 文献标志码：A 文章编号：1000．6931(2010)SO．0576．03 M easurementofThicknessofFoils BasedonConjugatedConfocalMicro-DisplacementSensors YANGMeng-sheng，XINGPi-