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总第 期
王恒和，祁康成:多晶硅TFT的发展与应用 55
文章编号：1006-6268（2005）09-0009-06
多晶硅TFT的发展与应用
王恒和 ,祁康成
电子科技大学 光电信息学院,四川成都
( 610054)
摘 要 多晶硅 具有优良的电学性能,在显示中能够提供更亮、更精细的画面,被视为非晶
: TFT
硅TFT的理想替代品而被广泛地研究。本文主要评述非晶硅的晶化机理和主要研究结构,并简
要介绍其应用。
关键词 多晶硅;晶化机理;薄膜晶体管
:
中图分类号: 文献标识码:
TN141.9 B
TheDevelopmentandApplicationsofPoly-siTFT
,
WANGHeng-heQIKang-cheng
(SchoolofOptic-ElectronicInformation,UniversityofElectronicScienceand
ofChengdu610054,China)
Abstract:Highelectricperformancepoly-sithin-film transistorscouldprovidebrighter
andsubtlerview.Ithasbeenresearchedwidelyandthoroughly.Itisalsoconsideredasthe
perfectsubstitutefora-siTFT.Inthispaper,wereviewseverala-sicrystallizationmethods,main
researchstructuresandapplications.
; ;
Keywords:poly-crystallinesiliconcrystallizationmethodsTFT
近年来,随着多晶硅TFT技术的不断发展,其应
用也越来越广泛,并被视为 a-siTFT的理想替代 1 TFT发 展
品。相对于a-siTFT,p-siTFT具有高迁移率、高速
高集成化、 型导电模式、自对准结构、省电、抗光 上世纪 年代发明的薄膜晶体管,已经得到非
p/n 60
干扰能力强和分辨率高等优点,能够提供更亮、更精 常广泛的应用,发展速度之快超乎想象。从非晶硅
细的画面。其中p/n型的导电模式不仅可以实现 TFT到多晶硅TFT,从高温多晶硅TFT到低温多晶
LCD的驱动,而且也可以实现OLED的驱动。因此 硅TFT,技术越来越成熟,应用对象也从只可驱动
采用多晶硅薄膜晶体管( )有源矩阵是未来大屏 发展到既可以驱动 也可以驱动 。随
TFT LCD LCD OLED
幕、高分辨率平板显示的首选驱动方法。 着象素元尺寸的不断减小,其分辨率也越来越高。
多晶硅TFT的制备可以通过多种方法实现,而
其晶化机理也因制备方法的不同而各异。本文主要 2 多晶硅薄膜的晶化机理
评述各种制备方法的晶化机理,并介绍人
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