用等离子体方法以及化学处理对Ti-O薄膜进行活化改性的研究.pdfVIP

1816 功 能 材 料 2007年增刊 （38）卷 用等离子体方法以及化学处理对Ti-O 薄膜进行活化改性的研究*  樊 珊，陈俊英，孙 鸿，黄 楠 (西南交通大学材料科学与工程学院，材料先进技术教育部重点实验室，四川 成都 610031) 摘 要：采用磁控溅射法制备Ti-O 薄膜，然后采用等 （100）片上镀Ti-O 膜。经X 射线衍射仪测得薄膜物相 离子体浸没离子注入设备，以氢气作为离子注入源，轰 结构大部分为金红石结构，含有少量锐钛矿结构。 + 击至钛氧薄膜表面，使其产生羟基基团。并对注入后样 2.2 等离子体浸没H 注入 品进行酸活化，以期得到更多的羟基。采用傅立叶红外