LED表面微结构研究进展32203.pdfVIP

与 科研探索 知识创新 LED 表面微结构研究进展 □ 罗世俊 （武汉大学物理科学与技术学院 湖北·武汉 430072 ） 摘 要： 半导体固态照明采用 InGaN 基量子阱发光二极管（LED），不仅可以节省能源、减少污染，还具有体积小、寿 命长等优点。 但是 LED 外量子效率一直较低，文章介绍了 LED 芯片表面加工的各种微结构。 如表面粗糙化结构，二 维光子晶体结构，在 p-GaN 上生长纳米杆等。 从而有效提高了 LED 外量子效率。 关键词： 外量子效率 表面粗糙化 光子晶体 光子准周期结构 纳米杆 中图分类号： 中图分类号： 文章编码： （ ） O46 A 1007-3973 2009 07-084-02 引言