面向光纤器件流变制造工艺的温控系统研究.pdf

摘要 流变制造工艺是光纤耦合器最重要的一种制备方式，其中流变温 度对器件光学性能影响最大，但现有的气体加热方式，其温度易受环 境干扰，波动大，这样就导致生产的器件损耗较高，性能一致性不佳。 为克服以上不足，本论文开发了一套基于电阻加热器的温控系统，旨 在为流变制造工艺提供高精度，高稳定度的温度场。 本论文研究内容如下： 选择加热器发热材料，设计加热器结构，使其在很小范围内(约 器，大电流导线，温度传感器等器件，搭建温控系统。 从传热学角度出发，运用解析法建立电阻加热器数学模型，计算 其离散传递函数，通过使用MATLAB计算工具，运用根轨迹法求出PID 控制的三个控制参数，对系统进行PID温度控制实验。 在常规PID控制器的基础上，利用FUZZY软件包设计PID参数自 抗干扰能力仿真，仿真结果表明该控制策略更适宜于流变温度的控 制，通过工艺实验发现在900。C时，温度波动被控制在+／-1．O。C以内。 精度高而又稳定可靠的温度控制使流变工艺变得更为成熟，通过 实验表明，器件的损耗与一致性都得到了大幅度改善。 关键词：流变制造工艺， 温控系统，PID控制器，模糊PID控制 器 木本课题得到国家自然科学基金重点项目《光纤器件的亚微米制造理 论与关键技术》的资助 ABSTRACT The fabricationisthemain rheologic process methodof producing the the optical world devices(especiallyoptical couples)in nowadays． 硼l is - andse．2itivese2itive ． rheologictemperature factotor．butbutit—is important uncontrollableinthe causethedevices existingprocess，this performance not asthe good，such the hi曲loss，bad CO一2istency．For improvingoptic devices asetof basis performance，we onresistiveheaterto design system obtain and high control： accuracyhigh stabilitytemperature In thefoundation of