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摘 要
在仿生啄木鸟头部独特生物构造和隔振机理的基础上，采用主动隔振技术建立了超精密装置隔振系统结构及动力学模型。结合超精密装置隔振系统的结构特点和性能要求，采用闭环PID主动控制系统，用MATLAB软件进行了仿真分析研究。仿真分析结果表明，该振动控制系统宽频率范围内具有良好的减振效果，该系统可应用于超精密测量、超精密制造设备的隔振领域。
关键词：超精密装置；仿生学；主动振动控制；PID控制
Abstract
To keep the ultra-precision device from the micro-disturbance of environment, a structure a
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