Si3N4浸渍处理提高硬度的研究.pdfVIP

维普资讯 第 26卷第8期 工 程 材 料 Vol_26 No．8 2002年 8月 M echanical Engineering Aug．2002 Si3N4浸渍处理提高硬度的研究 郭生武，陈志昕，方军锋 (中国石油天然气集团公司石油管材研究所，陕西西安 710065) 摘 要：用硅粉冷等静压成型和反应烧结氮化工艺制造的氮化硅样品不规则气孔 多且大，硬度 偏低 。浸渍处理可以填充气孔，显著提高硬度和抗弯强度 。 关键词：氮化硅；冷等静压；正硅酸乙酯浸渍处理；力学性能 中图分类号 ：TF123．3 文献标识码：B 文章编号：1000—3738(2002)O8—0035—02 DippingofSi3N4Ceram icforImprovingtheHardness GUO Sheng-wu，CHEN Zhi-xin，FANG Jun-feng (TubularGoodsReasearchCenterofCNPC，Xi’an710065，China) Abstract：TheShN4ceramicmadefrom thepowderofsilicon，whichispreparedwithcoldisostaticpressing andreactionsintefingofsiliconnitride，isirregular，poreous，andhardnesslow．Dippingcanfillthepores。improve thehardnessandmechanicalpropertiesofSi3N4． Keywords：Si3N4ceramic；coldisostaticpressing；dipbyethyeorthosilicate；mechanicalproperty 1．5h。预氮化的半成品经车削加工后再行终氮化， 1 引 言 1350℃保温 24h。终氮化的变形率仅 0．1 。选择 硅粉冷等静压成型预氮化后的氮化硅半成品具 恰当的升温梯度、氮化反应条件对控制气孔大小、多 有 良好的机械加工性能和烧结收缩小的优点，再经 少、晶粒粗细和残存未氮化的硅量极为重要。 终氮化后的成品耐磨且具有 自润滑性，因而适宜制 2．2 浸渍处理 造精密机械零件 ，如喷嘴、泵柱塞、缸套 内衬等。但 将成品浸入装有正硅酸 乙酯的钢制压力容器 制品气孔多且大，硬度偏低，这一缺陷使喷嘴堵塞、 中，抽气至+0．0498～一0．0460MPa并保持 柱塞和缸套划伤橡胶，而且不耐磨。浸渍处理可以 1．5h，然后用 Nz气缓慢加压到 0．2MPa并保持 填充气孔、提高硬度和表面粗糙度等级，是一种有效 5min。取出浸渍后的成品放人 5O HNOa溶液中 的工艺方法 。 浸泡 10h加快正硅酸乙酯水解。捞出水洗，160℃烘 本工作用正硅酸乙酯浸渍方法和涂刷方法处理 12h，空气中凉干；再行二次浸渍。用称量法检查浸 预氮化样品，通过测试硬度、抗弯强度、硬化层深度、 渍效果_1]。 表面粗糙度、x射线相分析及光学显微观察和扫描 2．3 浸渍处理后氮化工艺 电镜分析，研究了浸渍处理的效果。 抽真空至一O．096OMPa，通 N 至炉内压力为 2 试验方法 0．02MPa，并排尾气 。通NH。lkg，升温至 1350℃