射频激光陶瓷基板划片机光路设计及分析.pdfVIP

第 12 卷 　第 1 期 光学 精密工程 Vol . 12 　No . 1 2004 年 2 月 　　 Optics and Precision Engineering 　　J an . 2004 文章编号 　1004924X (2004) 射频 CO2 激光陶瓷基板划片机光路设计及分析 1 2 1 侯廉平 , 陈陪峰 , 王 　圩 ( 1. 中国科学院 半导体研究所 国家光电子工艺中心 , 北京 100083 ; 2. 华中科技大学 激光工程研究院 , 湖北 武汉 430074) 摘要 : 介绍了RF CO 激光陶瓷基板划片的特点。分析了导光系统的设计原则 , 着重讨论了圆偏振镜和伽利略离焦望远 2 镜的作用和特点。对导光系统进行了优化和模拟 , 给出了导光系统的光路图及成像质量图。试验结果和理论相符 , 系统 划片速度可达 10 m/ min , 划缝宽度 0. 1 mm , 划缝深度 0. 3 mm 。利用所设计的陶瓷划片机加工的氧化铝陶瓷基片可 与国外同类划片机相媲美 关 　键 　词 : 激光加工设备 ; 陶瓷基板 ; 划片机 ; 光路 ; 设计 中图分类号 : TG665 　　文献标识码 : A Design of beam delivery system for RF CO2 laser ceramic substrate scriber HOU Lianping , CHEN Peifeng , WAN G Wei ( 1. N ational Research Centerf or Op toelectronic Technology , Institute of Semiconductor , Beij ing 100083 , China ; 2. Institute of L aser Technology Engineering , HUS T , Wuhan 430074 , China) Abstract : The current requirements for laser ceramic substrate scriber systems are high light beam quality , fast scrib ing velocity , narrow scribing groove , small heataffected zone , smooth crosssection , and independence of scribing quality from scribing direction . The light guide system designed can satisfy all the abovementioned requirements , and it includes anamorphic lens , space filter , circular polarizer , Galileo defocusing telescope and focusing lens , and it has a scribing velocity of up to 10 m/ min , a scribing wi