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D07 Series Mass Flow Controller
D07-7B 型 质量流量控制器
特 点:
★高性能价格比、普通型产品
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★7A 型的更新换代型
★管状分流，使用寿命长
用 途:
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精
密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、
石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制
气配气等行业。
标 准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为： 外形和安装尺寸
标准温度………………0℃（273.15K ）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
技术性能指标:
满量程流量范围（N ） 5SCCM～10SLM
2
控制范围 2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态） 电磁调节阀（常闭） A
准确度 ±1.5 ％F.S. A 向
孔深6
线性 ±0.5～1.5％F.S.
重复精度 ±0.2 ％F.S.
电特性: 10 sec
响应时间
气特性: ≤ 4 sec
工作温度范围 5～45 ℃
工作压差 0.1～0.5MPa
耐压 3MPa
-8 .
漏气率 1×10 atm cc/sec He
通道湿材料 316L 不锈钢、密封材料
静密封材料 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶）
氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚
动密封材料
四氟乙烯）
VCR 1/4”
接头选择
Swagelok 1/8”、1/4”或φ6、φ3
重量 1.1Kg
DB15 型插座（孔式）
北京七星华创电子股份有限公司质量流量计分公司
E-Mail:mfcsales@ 电话：（+8610 传真：（+8610
地址：北京市朝阳区酒仙桥东路1 号 信箱：北京741 信箱3 分箱 邮编：100015
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