物理学对微电子高新技术的推动作用3.pdfVIP

( ) [ 23 ] 陈宗柱 ,高树香. 气体导电 下册 . 南京 :南京工学院出 [ 25 ] 林立中. 冷等离子体表面处理设备及其处理工艺 , 中国 版社 ,198848 发明专利 ,ZL891079092 [ 24 ] 胡志强 ,甄汉生 ,施迎雄. 气体电子学 ,北京 : 电子工业 [ 26 ] 林立中. 滚筒式等离子体表面处理机 , 中国实用新型专 出版社,198578 利 ,982274203 物理学对微电子高新技术的推动作用 李 　秀 　琼 ( 中国科学院微电子中心　北京　100010) 摘 　要 　　描述了物理学对微电子高新技术的推动作用. 无论是从本世纪晶体管的发明到计算机的日 新月异发展 ,或者从下个世纪的新结构半导体器件到计算机的全新变革 ,都充分说明了物理学的重要作 用. 关键词 　　物理学 ,微电子 HIGH TECHNOLOGY FOR MICROEL ECTRONICS WAS D RIVEN BY PHYSICS Li Xiuqiong ( ) Microelect ronics Center , The Chinese Academy of Sciences , Beijin g 　100010 Abstract 　　From the history of microelectronics high technology ,this paper shows how it was mo tivated by physics. Whether from the invention of the transistor to rapidly changing computer engi neering of the 20th century ,or from new semiconductor devices which will create a completely new structure of computers in the 21st century ,it is evident that physics has been playing an extremely important role. Key words 　　physics , microelectronics 　　20 世纪是物理学推动高新技术飞速发展 大学时第一志愿多是物理系或与物理相关的系 的世纪 , 对微电子技术也毫不例外. 美国于 科 ,他们现在都已成了各行各业的领导和重要 1925 年创建的贝耳实验室 ,如今已成为世界上 骨干. 我国一星两弹的成功发射正是解放后从 规模最大、技术最先进的科学技术研究和发展 国外回国的老一代科学家和国内自己培养的大 ( ) 的研究院之一. 自1947 年以贝耳实验室的肖克 量从事物理 和化学 的科学家共同努力、拼搏 莱为首的固体物理研究组发明了晶体管以来 , 和奋斗才创造出来的人间奇迹. 它令全世界人 世界微电子科学技术得到突飞猛进的发展. 领 刮目相看 ,大大地增强了我国的国力 ,空前地提