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侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用.pdfVIP

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  • 2017-09-01 发布于重庆
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侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用.pdf

    第 卷 增刊 半 导 体 学 报 ２７ 犞狅犾．２７ 犛狌 犾犲犿犲狀狋 　 　 　 　 　 　 狆狆 年 月 ， ２００６ １２ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犇犲犮．２００６ 侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用  谢常青 刘 明 陈宝钦 叶甜春 　 　 　 　 （中国科学院微电子研究所 纳米加工与新器件集成技术实验室，北京

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