第6期谭伟石等：AlGaNGaN异质结构的X射线衍射研究.pdfVIP

第27 卷 第6 期 核 技 术 Vol. 27, No.6 2004 年6 月 NUCLEAR TECHNIQUES June 2004 AlGaN/GaN 异质结构的X 射线衍射研究 1, 2 2 2 2 2 2 3 3 谭伟石 徐 金 蔡宏灵 沈 波 吴小山 蒋树声 郑文莉 贾全杰 1 ( 南京理工大学理学院应用物理系 南京 210094 ) 2 ( 南京大学固体微结构物理国家重点实验室 南京大学物理系 南京 210093 ) 3 ( 中国科学院高能物理研究所 北京 100039 ) 摘要 在 ( 0001 ) 取向的蓝宝石 ( α-Al O ) 基片上用金属有