基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计.pdfVIP

104 传感器与微系统(Tr卸sducerandMicr0systemTechn0loes) 2OO9年第28卷第6期 基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计 蔡春丽，刘志远，王惠玲，于海超，王洪岩 (中国电子科技集团公司 第四十九研究所，黑龙江 哈尔滨 15O001) 摘 要：设计了一种新的基于恒温法的热膜式气体流量传感器，介绍了该传感器的建模过程及其敏感元 件的结构设计，并给出了流量传感器的详细设计方案。仿真和实测结果表明：该流量传感器既能对小流量 信号敏感又能准确地反映大流量的输出，功耗低于0．1w，响应时间小于50ms，精度可达到0．6％Fs，能够 满足低功耗、快响应、高精度等性能技术指标的要求。 关键词：传感器；气体流量；热膜 中图分类号：仲212 文献标识码：A 文章编号：1o00—9787(2o09)O6—0104—03 Design0fh0t-film airn0w sens0rbased0nmeth0d 0fc0nstanttemperature CAIChun—li，LIUZhi—yuan，WANGHui·ling，YU Hai-chao，WANG Hong—yan (The49thIteSearchIIlstituteofChineseElectr0IlicsTechn0lo Gr0upC0rporation，Harbin1500o1，ClIina) Abstrl卸ct：Based0nthemethod0fconstanttemperature，atype0fnewh0t—film gasnowsensorisdesigned．The pr0lcess0fm0delingandthestmctuI design0fitssensitivec0mponentsaI_eintroduced，andthedetaileddesign0f thesensoris ven．SimulationaJldexperimentalresultssh0w thatthefl0wsensoriseithersensitiVetosmalltr豳 c signalorfitf0rthemeasurement0flarge协 hcsignal，whosepowercomsumptionappmachesO．1W ，responsetilne islessthaJ150ms，accuracyisO．6％Fs，andcansatisfythetechnicalspecific砒i0nrequest，suchasl0w-power consumption，f鹊ltrespon8e，highaccumcyetc． KeywOrds：sensor；gasnow；hot·lm O 引 言 流体流过热膜电阻表面时，会带走一定的热量，引起热膜电 随着微电子加工技术的发展，热膜式气体流量传感器 阻温度的变化，从而阻值发生变化。这个变化量与流体 的 已取得了很多喜人成果，由最初的热线式H铂发展为热膜 流速、加热电流、热膜的表面温度等因素有关 ，从这些关系 式 ]，解决了热线式流量传感器一致性差、易损坏、成本 中可导出热膜散失的热量 口与流体的速度 之间的关系。 高、不适合批量生产等问题。但热膜式气体流量传感器多 1．2 数学模型 集中在小流量的研制，且热膜结构多为悬桥式 ，一旦进 由于热膜式流量传感器是通过测量因气体流动而造成 入杂质便影响灵敏度且无法修复，而多用于汽车燃油控制 的温度变化来反映气体流量的，所以，气体流动时产生的强 系统的平膜结构虽避免了这个问题，但结构复杂，测量小流 迫对流传热对传感器热膜影响最大，起主要作用。而只有 量气体时，灵敏度差。针对这些不足，本文吸取2种芯片结 当气体静止或流速很低时，自然对