X射线光电子能谱(XPS)09313.pdf

II 射线光电子能谱(XPS) 一 XPS 的物理基础3 1. X 射线与物质的相互作用3 2. 光电效应3 3. 电离过程和弛豫过程4 二 结合能与化学位移6 1. Koopman 定理6 2. 初态效应7 3. 终态效应 10 4. 结合能的参考基准12 5. 固体中的光电发射13 三 XPS 谱的一般特性(GENERAL FEATURES) 14 1. XPS 谱图的初级结构14 2. XPS 谱图的次级结构17 四 定性分析18 1. 元素组成鉴别:18 2. 化学态分析19 3 应用实例21 五 定量分析26 六 XPS 谱仪技术30 1 超高真空系统(UHV) 30 2 X 光源30 3 分析器系统31 4 数据系统33 5 其它附件33 6 谱仪灵敏度和检测限34 7 谱仪能量的定标34 8 清洁表面制备 35 七 深度剖析与成像XPS 36 1 结构破坏性深度剖析36 2 非结构破坏性深度剖析36 3 成像XPS(iXPS). 37 八 数据处理38 九 结 论39 电子能谱(Electron Spectroscopy) 2− 2 第二章 X 射线光电子能谱(XPS) XPS(X-ray Photoelectron Spectroscopy) 又被称为 ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis) 它是以 X 射线为探针 检测由表面出射的光电子 来获取表面信 息的 这些光电子主要来自表面原子的内壳层 携带有表面丰富的物理和化学信息 XPS 作为表面分析技术的普及 归因于其高信息量 其对广泛样品的适应性以及其坚 实的理论基础 本章将介绍XPS 方法并阐述其理论 仪器 谱的表示及其应用 一 XPS 的物理基础 1. X 射线与物质的相互作用 为领会表面分析方法XPS(ESCA) 对光电效应和光电发射的了解是必要的 当一 个光子冲击到一原子上时 将会发生下列三个事件之一 (1)光子无相互作用地穿过 (2)光子被原子的轨道电子散射 导致部分能量损失 (3)光子与轨道电子相互作用把光 子能量全部传给电子 导致电子从原子中发射 第一种情形无相互作用发生 第二种 可能性称为康普顿散射 它在高能过程中是重要的 第三种过程准确地描述了光电发 XPS 射 此即 的基础 2. 光电效应 1887年赫芝(Hertz)首先发现了光电效应 1905年爱因斯坦应用普朗克的能量量子 化概念正确解释了此一现象 给出了这一过程的能量关系方程描述 由此贡献爱因斯 坦获得了1921年的诺贝尔物理奖 我们知道原子中的电子被束缚在不同的量子化能级上 ĤΨi=E Ψi i hν n 原子吸收一个能量为 的光子后可引起有 个电子的系统的激发 从初态波函数 i i f f Ψ(n) E (n) Ψ(n- 1,k) E (n- 1,k) E 和能量 跃迁到终态离子 和能量 再加上一动能为 的自由光