表面波等离子体源发展现状.pdfVIP

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2017-09-01 发布于安徽
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Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 14 (2012) 145202 † ( , 341000 ) ( 2011 11 15 ; 2011 12 26 ) , , , . , , . : , , , PACS: 52.50.Dg, 52.65.Kj, 52.40.Db . , 1 , , , , , . , , , ( 30 cm) . : (1) . , 1994 , 1996 , 1998 , , 2003 , . , SWP[1,3−19]; (2) (SWP) Tatarova 2005 . TM33 , , SWP : , ECR , 5% [20,21] ; (3) ; ; , ; [22−26] ; (4) , , 30 cm 22 cm . , , (2.45 GHz) [27−34] ; (5) , 2005 , . [35−41] . , , , , ; , , E-mail: dongtaiyuan@ c 2012 Chinese Physical Society 145202-1