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过程质谱仪技术及应用过程质谱仪技术及应用 上海舜宇恒平科学仪器有限公司 基本背景基本背景 在线分析在线分析：：通过仪器对过程变化进行在线实时监控通过仪器对过程变化进行在线实时监控，，检测特定化学物质或物理检测特定化学物质或物理 状态，得到过程信息（如反应状态、速率、均匀性和浓度等） 传统气体成分在线分析：工业色谱、红外和其它单一的气体检测单元（紫外， 热导热导，磁氧磁氧）），存在分析速度慢存在分析速度慢、准确度差准确度差、系统集成化和自动化程度不高系统集成化和自动化程度不高， 不能及时地反映过程的快速变化等问题 过程质谱过程质谱：原原理同实验同实验室质谱质谱。在过程检测中在过程检测中，由由于质谱仪能够进行实时质谱仪能够进行实时、多多 点、多组分检测，提供定性定量信息，具有灵敏度高、检测快速等优势，因此 越来越受到在线过程监控应用领域的重视。 应用领域应用领域：石油化工石油化工、半导体半导体、冶金冶金、环境环境、食品食品、催化和地质勘探等气相工催化和地质勘探等气相工 业反应的监测。 主要内容主要内容 11 在线质谱技术在线质谱技术 2 在线质谱应用在线质谱应用 3 在线质谱仪系统 4 舜宇恒平在线质谱仪 在线质谱技术 质谱分析法质谱分析法 质谱质谱，即质量的谱图即质量的谱图，物质的分子在高真空下物质的分子在高真空下，经各种途径形成带电粒子经各种途径形成带电粒子 （（即即 离子），某些带电粒子可进一步断裂。 每每一离子的质量与所带电荷的比称为离子的质量与所带电荷的比称为质荷比质荷比((m//z)) 。 不同质荷比的离子经质量分离器分离后，由检测器测定每一离子的质荷比及强 度度，由此得出的谱图称为质谱由此得出的谱图称为质谱。 85 9500 CH 9000 3 OO