王振交等：有机光电导电材料PEDOT-PSS薄膜制备工艺.pdfVIP

维普资讯 王振交 等：有机光 电导 电材料 PEDOT-PSS薄膜制备工艺研究 有机光电导电材料PEDOT-PSS薄膜制备工艺研究宰 王振交 ，杨 辉2，席 曦 ，乔 琦2，季静佳3，-，李果华 ，4 (1．江南大学 理学院，江苏 无锡 214122；2．江南大学 信息工程学院，江苏 无锡 214122； 3．无锡尚德太阳能电力有限公司电池研发部，江苏 无锡 214082；4．江苏省光伏工程技术中心，江苏 无锡 214082) 摘 要： PEDOT (聚乙撑二氧噻吩)是一种新型的有 AFM、椭偏仪等仪器研究旋涂工艺对 PEDOT．PSS导电 机导电材料，具有高电导率、好的环境稳定性、在掺杂 膜的厚度、粗糙度等性质的影响。 状态是透明的等优点，这些优点使其在制备有机 电致显 2 旋涂的基本过程 示、有机太阳能电池等有机光电器件中得到广泛应用． 研究了用旋涂方法制备PEDOT．PSS的工艺，考察了所 旋涂是现代半导体工业中的一项成熟的处理工艺， 得薄膜厚度、均匀性与溶液的浓度、基片旋转速度之间 普遍把旋涂过程分为如下4个阶段：沉积、扩散、旋离 的关系，另外退火温度和时间对薄膜的均匀性也有很大 和蒸发 (一般来说蒸发和其它3个阶段同时进行)。 影响．通过 最小二乘 法对 数据进行 拟合 ，得 出 (1)沉积阶段：也称下料阶段，即把经稀释过的 PEDOT．PSS在 1．3％(质量分数)的情况下薄膜厚度随转 旋涂液滴加在静止或低速旋转的基片上，一般滴加过量 速的变化 曲线和经验公式，利用 AFM、椭偏仪等仪器 的旋涂液，主要是让旋涂后薄膜能够全部覆盖基片的表 研究旋涂工艺对 PEDOT．PSS导电膜的厚度、粗糙度等 面，同时能够保证膜的连续性。 性质的影响． (2)扩散阶段：基片被加速到高速旋转状态 ，基 关键词： 旋涂；PEDOT．PSS；退火；AFM；最小二乘法 片旋转时产生强大的离心力作用在旋涂液上，使旋涂液 中图分类号：0482．7 文献标识码：A 在基片表面形成波前径向外流，在基片表面形成较均匀 文章编号： 1001．9731(2007)增刊．0393．03 的薄膜。 (3)旋离阶段：旋涂溶液中残余的溶剂在高速旋 1 引 言 转下挥发。转速在2000~8000r／rain之间。最初在离心力 PEDOT (聚 乙撑二氧噻吩)是一种新型的有机导 的作用下薄膜会逐渐变薄，直到由于溶剂的挥发导致膜 电材料，具有高电导率、好的环境稳定性、在掺杂状态 不再变薄。 是透明的等优点，这些优点使其在制备有机 电致显示、 (4)蒸发阶段：蒸发伴随着前3个阶段，蒸发的快 有机太阳能电池、超级电容器等 电子器件中得到广泛应 慢也直接影响着薄膜最终厚度和均匀性。如果蒸发太 用。通常PEDOT．PSS作为有机电器件的阳极 ITO的替 快，在溶液表面形成固态晶粒，这会影响溶液在基片表 代物或修饰物，或作为有机电器件的空穴缓冲层和空穴 面的流动，有可能会引起薄膜缺陷。 注入层，可以大幅度提高有机器件的性能，如在 (有机 旋涂可以用来制备多种不同厚度的薄膜，在旋涂工 发光二极管)OLED中加入 PEDOT．PSS作为空穴注入 艺中影响薄膜厚度的主要因素是旋转的角速度 ，其它因 层可以降低开启电压、提高光通量等，在有机太阳能电 素固定时薄膜厚度与角速度 的平方根的倒数成正比I。