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维普资讯
新型喷射成 形轻 质 、高导热 、低 膨胀 SiAl电子封 装材料 张济 山 · 1 ·
新型喷射成形轻质、高导热、低膨胀 si—Al电子封装材料
张济 山
(北京科技大学 新金属材料 国家重 点实验室 ,北京 100083)
摘要 传统封装材料 的性 能 已经不能满足微 电子技术 飞速发展 的需要 。为此 ,国内外相继采用喷射成形技术研
究开发 了适 用 于 电子行 业发 展 的新 型 S1Al系列合 金 。这 种 高硅 (5O~70wt9/0)合 金具 有细 小 均 匀的显微 组织 ,以及均
匀和 各 向 同性 的性 能 ,同时具有 低 热膨 胀 系数 、高热 导率 和 低 密 度 等 特 点 。与普 通 碳 化 硅 增 强金 属 基 复合 材 料
(MMCs)不 同,新合 金可 以用普通刀具进行加工 ,并且容 易进行镀镍 、铜 、银和金等涂覆处理 。采用上述材料 已成功地
制 备 了航 空应 用的微 波放 大器模块 ,比全 可伐合 金封 装 减重 约 3O 以上 。对喷射成 形 S1Al合 金 的研 究开 发现 状 进行
了简单评 述 。
关键词 电子封装 sAl合金 喷射成形
New SprayForm ed LightW eighted Si—AIElectronicPackaging
M aterialswithLow Therm alExpansionand H igh H eatConducting
ZHANG Jishan
(StateKeyLaboratoryforAdvancedMetalsandMaterials,UniversityofScienceandTechnologyBeijing,Beijing100083)
A bstract Thepropertiesoftraditionalpackagingcannolongersatisfytheneedsofrapiddevelopmentofmi
croelectronictechnology.Thereforeanew seriesofSiAlalloyssuitableforapplication inelectronicsindustrieshave
been developedw ith sprayformingtechniqueboth indevelopedcountriesandinChina.Thesprayform edalloyswith
high Sicontents (50~ 70wt )show fineandhomogeneousmicrostructures,excellentcomprehensiveproperties,and
especiallytheyhave,atthesametim e,lowerthermalexpansioncoefficients,higherheatconductivity,rtIidlowerdensit3,
compared with the traditionalpackaging materials.Unlike the COITIITIOll SiC reinforced metalmatrix composites
(MM Cs),thenew alloyscanbemachinedw ith thetraditionalcuttingtools,andcanbeeasilycoatedbyNi,Cu,Agor
Au.Thenew materialshavebeen successfully applied inaeronauticalindustrysuchasmicrowavemagnifierwith a
3O weightreductioncomparedwith thepackagingmadeofKovarall
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