掺铬类金刚石膜制备工艺与机械性能关系的研究.pdfVIP

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2017-09-01 发布于安徽
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掺铬类金刚石膜制备工艺与机械性能关系的研究.pdf

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第七届全国表面工程学术会议掺铬类金刚石膜制备工艺与机械性能关系的研究林松盛，林凯生，朱霞高，李洪武，侯惠君。代明江．赵利 (广州有色金属研究院，广东广州510651) 【摘要]采用阳极层流型矩形气体离予源结合中频磁控溅射技术制备梯度过渡cr—DLc膜层。利用扫描电镜、显微硬度计、球一盘摩擦磨损实验仅及划痕试验仪对不同工艺制备的cr—DLc膜层的部分机械性率的增大膜层的附着性能下降；硬度随cH4流量的增大及中频功率的提高，皆呈先上升后下降；在一定范围内 CH。流量的变化对cr—DLC膜层的摩擦系数影响不大，中频功率的增加膜层的摩擦系数呈上升趋势。【关键词]掺铬类金刚石膜；阳极层流型矩形气体离子源；中频磁控溅射；工艺；机械性能【中图分类号]TGl74．444[文献标识码】A 011 ProcessandMechanical ofCr—DLCFilms StudyPreparation Properties Lin Li Songaheng，LinKaisheng，ZhuXiagao，LiHonswu，Houhuijun，DaiMin百iang，Zhao ResearchInstituteofl3011一ferrous (Guangzhou Guang!zhou510651) Metals，Guangdong Cr—DLCfilmsWere laminarflow anode ioni的tlrce Abstract：Gradual synthesizedbycombing type rec咖gulargas andmiddle weartesterand magnetron tester，friction scratching frequency sputteringtechnology．SEM，micro-hardness tester the resultshowed wereusedto mechanical offilms differentmethods．The performancedeposited analysis by process fdms with adhesionunder100／150flow—rateof adhesionoffilmsdecreased that：Cr—DLC CH‘／At．The depositedgood ∞middle h舡dne$8offilmsdeclinedafter asthe of flow-rate frequencypowerincreasing．The rising increasingCH4／Ar and frictioncoefficientoffdmsWaUa influencedthe of middle如quencypower．Thc slishfly by change cre88eda8middle frequencypowerincreasing