声表面波力敏传感器基片材料最佳切向的研究.pdfVIP

第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 V，01．29No．4 2008年4月 ChineseJoumalofScientificlns劬ment Apr．2008 声表面波力敏传感器基片材料最佳切向的研究 程卫东1J 鄂明成1董永贵3 (1北京交通大学机电学院：2辽宁工程技术大学大型工矿装备实验研究中心北京100044； 3清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084) 摘要声表面波传感器基片的压电晶体材料具有各向异性，切向不同性能差别很大。本文建立初始应力下的具有各向异性压 电材料的波动方程。通过方程求解声表面波的传播速度，给出材料基片性能指标的计算方法，进行压电材料钽酸铿的各项性 能指标的数值计算。根据计算结果确定延迟线型sAW力敏传感器的基片材料最佳切向。 关键词声表面波传感器波动方程最佳切向 AcousticWaveForce ResearchonBestCutofSurface SensorSubstrates E Yonggui Chengweidong，Mingcheng，D帅g n硼EIectm证c酬rd 恤h砌够№c}tanicnl Engi舵e—ng．Be磅ingJiool嘴U嘶ers吼Be珏ing、∞瀚 SIate r Kc)，kbo嘣。哆巧P陀cisi傩Me珊埘他m眦亿ch∞lo斟d砌l璐打1l眦nlshing}lllQUn却ers租y，Beiji鸭、响Qs4 Rese口rchh，，dP m：gmm可tk Min魄Eq枷e哟． 跚Dpo—edBy印en E耻ri眦mD’ld屿，Center巧Hea拶E曜i凇er圣鸭口，Id ￡缸伽f，曙乃幽记口，己俯w腰训 Serlsor tIle AbSt陷ctSurfkeacouslicⅥ，aveforce ismade chip by piez∞lectric时crystalsp0SSessed锄is咖py cutisdia’e他nt，sensor di仃．erenceis h雏签tablishedthewaVe pmper吼Becau辩the perfbm锄ce big．Thispaper of djSnJrbedinitial equationpiezoelectrici妙materialby st陀Ss．ThroughextractingequationwaVepmpagation is0btained．The methods0fthe u辩dt0evaluatetheSensorsubstmtesare velocity comp喇ional pammeters given． From valu鹤ofthe forallcutsof Substratesare the∞，the parameterS LiTa03 caIculated．Throughanalysis锄d cutswithbetIerf．eature纠陀seIectedf．or lineSAWforce辩nsor． comp捌sonsome delay Surf-aceacousticwaVe cut