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第29卷第4期增刊 仪 器 仪 表 学 报 V,01.29No.4
2008年4月 ChineseJoumalofScientificlns劬ment Apr.2008
声表面波力敏传感器基片材料最佳切向的研究
程卫东1J 鄂明成1董永贵3
(1北京交通大学机电学院:2辽宁工程技术大学大型工矿装备实验研究中心北京100044;
3清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084)
摘要声表面波传感器基片的压电晶体材料具有各向异性,切向不同性能差别很大。本文建立初始应力下的具有各向异性压
电材料的波动方程。通过方程求解声表面波的传播速度,给出材料基片性能指标的计算方法,进行压电材料钽酸铿的各项性
能指标的数值计算。根据计算结果确定延迟线型sAW力敏传感器的基片材料最佳切向。
关键词声表面波传感器波动方程最佳切向
AcousticWaveForce
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is0btained.The methods0fthe u辩dt0evaluatetheSensorsubstmtesare
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From valu鹤ofthe forallcutsof Substratesare
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comp捌sonsome delay
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