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第36卷，增刊 红外与激光工程 2007#-6月
128×128元氮化镓紫外焦平面读出电路的设计与封装研究
袁永刚，刘大福，邱惠国，牵向阳
(中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室，上海200083)
蔫要；随着GaN基紫外材料的成熟，GaN基紫外探测器迅速发展，半导体紫外探测技术成为继
红外和激光探测技术后发展起来的又一新型光电探测技术．GaN基紫外探测器以其固有的量子效率
高、可靠性高、使用方便等特点，将在紫外探测、预警，天际及地空通信和紫外弱光成像系统等领
域发挥重要作用。读出电路作为紫外焦平面信号调理与输出部分对紫外焦平面组件性能起至关重要
的作用。封装是通用传感器组件应用前的一道重要工序，合理的封装结构对组件厦系统是必要的。
元读出电路的工作点以及封装要考虑的热耗散问题，最后给出了读出电路的工作点与合理封装形式
pan
的2P4MCMOS工艺流片。
关键词：紫外；氮化镓；焦平面；读出电路
中田分类号：TN41 文献标识码：A
128x128GaNUVfocal readoutcircuit
planearray
of and
studydesignencapsulation
YUAN Da-fu，QrUHni—gun，LIXiang-yang
Yong—gang，LFO
(stateKeYhbo咖如of 200083,Chlna)
ofGaNbasedmaterialandGaNbasedUV
Abstract：W3ththe detectors，
rapid(1evel叩merit
has
semiconductorUV becomeanotherbrand-new detecting
detectingtedmologY optic-clectronics
and and to basedUV
its efficiencyhighdependability u∞．ChN
technology．Becausehighquanta easy
detectorwilllllakean roleinUV and
important detecting，spaceground-to-air
SO is for
lowlumenUV andon．Manufactureofreadoutcircuitessential GaN
system technology
iInaging
UV isthelast forUVdetector
baseddetectormodulateand
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