锌微晶辅助碳纳米管图案化研究.pdfVIP

·536· 第八届全国新型炭材料学术研讨会论文集 锌微晶辅助碳纳米管图案化研究 曲江英， 赵宗彬， 王旭珍， 邱介山 1 (大连理工大学化工学院，炭素材料研究室暨精细化工国家重点实验室，辽宁大连 16012) 摘要：利用锌微晶沸点较低易于蒸发以及形态丰富多变的特点，在微米尺度的锌粒介入下采用两种方式成功 实现了碳纳米管的自组装。方法一，先蒸发得到一定尺度的锌微晶，然后以其为牺牲模板基于气相生长技术实现 碳纳米管的原位自组装；方法二，与方法一的工艺过程相反，先气相沉积获得定向碳纳米管膜，然后以其为基板蒸 发沉积锌微米晶对生长后的碳纳米管膜进行形貌调控和组装。结果表明，尽管两种组装方式的过程和原理不同， 但都可获得碳纳米管的组装图案，并且过程简单可控。这一技术为碳纳米管的自组装提供了全新的途径。 关键词：碳纳米管；图案；锌；SEM 1 引言 貌丰富可变)为模板实现纳米管的图案化。分别采 用纳米管生长过程中原位组装和纳米管生长后再组 碳纳米管(CNTs)以其独特的结构和性质在微 装两种方式实现纳米管的图案化，探索锌微晶辅助／ 型器件如场发射、传感器及过滤器等领域具有广阔 介入下碳纳米管可控组装的新途径。 的应用前景¨。1。纳米管微型器件的应用要求纳米 管构筑一定的图案，因此纳米管图案化具有重要的 2 实验部分 意义。近年来，真空蒸镀、光刻蚀等技术辅助纳米管 2．1方法一：碳纳米管原位组装 图案化引起人们的普遍关注。例如，范守善等H1利 实验装置与文献[10，11]报道相似，采用传统 用阳极氧化方法结合掩膜金属电子蒸发技术，在衬 的两段炉作为反应器，反应过程分为两步。首先是 底上形成催化剂的微观图案，通过化学气相沉积 锌微米晶体的制备过程，把锌片放进第二段炉的中 (CVD)首次得到了垂直于衬底的规则碳纳米管阵 cm 心部位，将SiO，基片放在气流下游距锌片约5 列，为碳纳米管器件与硅器件的集成提供了可能。 处收集锌蒸发的产物，在N，和H，的保护下于 Ajayan课题组∞1利用浮游催化气相沉积技术制备 700 oC蒸发锌片15min。反应结束后，通N，冷却到 纳米管，发现纳米管只在SiO，表面生长而在Si表 室温。然后将该载微米锌晶的SiO，基片放置在第 面不生长，因此利用光刻蚀技术在硅衬底上设计 二段炉中心，采用浮游催化气相沉积法生长纳米管。 Si／SiO，图案，可以获得碳纳米管构筑的多种图案， 为未来纳米管电子器件的发展开辟了新的道路。 碳源，含H：和N：为1：1的混合气体作载气 Cao A．Y．等M1在碳化硅纤维的一端覆盖金膜来限 (200sccm)。第一段炉二茂铁蒸发温