NASICON基NO2气体传感器.pdfVIP

2009芷 仪 表 技 术 与 传 感 器 2O09 增刊 Instrument Technique and Sensor supplement NASICON基 NO2气体传感器 梁喜双，钟铁钢，刘凤敏，卢革宇，全宝富 (集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，吉林长春 130012) 摘要：文中介绍了一种管式结构的固体电解质 NO2气体传感器。该传感器是用溶胶一凝胶法制备的NASICON (钠 离子导体)为导电层材料，利用化学沉淀法制备的NiO和贵金属Au作为敏感电极材料制得的。文中研究了不同敏感电 极材料对气体传感器性能的影响。以NiO+Au作为敏感电极材料的传感器具有较大的灵敏度 ，当工作温度在300℃时， 对浓度为 (5～200) ×10 的NO：表现出了良好的气敏性能，传感器的灵敏度大于70mV／decade． 关键词：NO2；NASICON；NiO；Au；气体传感器 中图分类号：TP212 文献标识码 ：A 文章编号 ：1002—1841(2009)增一0137—03 NO GasSensorBasedonNASICoN LIANGXi-shuang，ZHONGTie—gang，LIUFengm·in，LUGe—yu，QUANBao—fu (StateKeyLaboratoryonIntegratedOptoelectronicsJiLinUniversityRegionandCollegeofElectronic ScienceandEngineerlng，JiLinUniversity，Changchun130012，China) Abstract：Presentedwasthesolid—electrolyteNO2gassensorwithpipestructure．TheNASICON (sodiumsuperionicconduc— tor)materialfortheconductivelayerwassynthesizedbysol—gelmehtod，NiObychemicalprecipitationnadAuforthesensingmate— rials．Theeffectsofdifferentsensingelectrodesonhtecharacteristicsofthesensorwereinvestigated．Thesensorwiht NiO + Auas thesensingelectrodegavehtelargestsensitivityto(5～200) ×10～nitrogendioxideinairat300oC，thesensitivity(slope)Was morehtan70mV／decade． Keywords：NO2；NASICON ；NiO；Au；gassensor 0 引言 侵蚀而且辅助相易分解。为此 ，在 1996年，MiuraN．E6]等人 NOx(NO，NO：)是某些高温废气和机动车废气的有害成 采用ZrO 基固体电解质，试验了各种硝酸盐辅助电极。实验 分，是伤害人体健康、污染环境、腐蚀金属的极有害的气体。 发现Ba(NO，)：在400—450oC对 NO 有较好的敏感性，但对 近些年来对 NO 传感器 的研究十分活跃 。在 1986年 ， NO不能很好地响应。又研究了硝酸盐分别和碳酸盐、硫酸盐、 WeppnerW．-23等人采用Ag一31一A12O3或Ag—B 一A12O3作 磷酸盐的混合物作敏感电极材料，实验表明只有Ba(NO)：一 为固体电解质，AgNO，作为气敏层，将Ag沉积在片状电解质 CaCO 对NO有一定的响应，但规律性差，从机理上也难以较 的一面作为参比电极或将鲰 粉和电解质