OEM压阻芯片性能测试及装置.pdfVIP

2009拒 仪 表 技 术 与 传 感 器 增刊 Instrument Technique and Sensor OEM 压阻芯片性能测试及装置 匡 石 ，冯艳敏 ，郑东明 ，徐长伍 ，张玉结 (1．沈阳仪表科学研究院，辽宁沈阳 110043；2．辽宁大学计算机信息学院，辽宁沈阳 110036) 摘要：OEM压阻芯片性能测试装置由2个平台构成，即硬件平台和软件平台，具有 自动测试芯片性能和控制探针台 功能。OEM压阻芯片性能测试可实现4寸 (1寸=2．54cm)芯片上近千个传感器图形的性能测试。每个图形测试项 目 包括桥路电阻、失调电压、漏流、击穿。对测试项 目的合格判定标准实现了开放式管理，可根据不同类别的传感器芯 片，设置不同的合格判定标准；在击穿电压测试项 目中，对反向偏置电压设置实现 了开放式管理，可根据不同的要求， 设置不同的反 向偏置 电压，方便 了应用。 关键词：OEM压阻芯片；桥路电阻；失调电压；漏流；击穿电压；芯片性能测试原理；芯片性能 自动测试程序设计 中图分类号：TP212 文献标识码：B 文章编号：1002—1841(2009)增一0246一o3 PerformanceTestingDevicef0rOEM PiezoresistiveChip KUANG Shi，FENG Yan—rain ，ZHENG Dong—ming ，XU Chang—WU ，ZHANGYu—zhe (1．ShenyangAcademyofInstrumentationScience，Shenyang110043，China； 2．SchoolofComputerInformation，LiaoningUniversity，Shenyang110036，China) Abstract：TheperformancetestingdeviceforOEM piezoresistivechipconsistsoftwoplatfomr s，whichagehardwareandsoft- wareplaftorms，withthefunctionofautomaticallytestingtheperfomr anceofthechipandcontrollingtheprobe．Bytestingoftheper— fomr anceoftheOEM piezoresistivechip，itcan implementtheperfomr ancetesiingofnearly1000 sensorgraphicsonthe4-inch chip．Thetestingprojectofeverysensorgraphicincludesbridgeresistance，offsetvoltage，leakageandbreakdownvoltage．Thetest criteriafortheprojectwasopeneduptothemanagement，itcanbesetupdifferentcriteriaaccordingtodifferenttypesofsensor chips；intheprojectoftestingbreakdownvoltage，tofacilitatetheapplication，theopenmanagementwascompliedinthereversebi— asvoltagesetting，inthisconditiondifferentreversebiasvoltagescanbesetonthebasisofdifferentrequirements． Keywords：OEM piezoresistivechip；bridgeresistance；offsetvoltage；leakage；breakdown voltage；chipperfomr nacetesting principle；chipperfomr anceauto—testingprogramming 0 引言 OEM压阻传感器是用半导体4寸平面工艺加工完成O