一维纳米金属氧化物半导体材料气、湿敏特性的研究.pdfVIP

2009年 仪 表 技 术 与 2oo9 增刊 Instrument Technique supplement 一 维纳米金属氧化物半导体材料气、湿敏特性的研究 张 彤，刘奎学，漆 奇，卢革宇 (集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区，吉林大学电子科学与工程学院，吉林长春 130012) 摘要：分别采用水热和静电纺丝法制备出一维ZnO、TiO 、SnO 纳米材料 ，并对其气、湿敏特性进行 了研究。结果 表明一维纳米材料具有非常快的响应恢复速度：水热法制备的花状ZnO纳米棒束由11％RH到95％RH的响应时间约为 5S，恢复时间约为10S；静电纺丝法制备的掺杂KC1的TiO2纳米纤维由11％RH到95％RH的响应时间为3S，恢复时间 约为4s；静 电纺丝法制备的SnO 纳米纤维对 50ppm (1ppm=10 ) 甲苯气体的响应时间仅为 1S，恢复时间约为5s． 关键词：一维；纳米材料；水热法；静 电纺丝法；氧化锌；二氧化钛 ；二氧化锡 中图分类号：TP212．2 文献标识码：A 文章编号：1002—1841(2009)增 一0155—03 StudyontheGasandHumiditySensingPropertiesofOne-dimension NanostructureM eta1．oxideSemiconductors ZHANGTong，LIUKui—xue，QIQi，LUGe—yu (StateKeyLaboratoryonIntegratedOptoelectronics，CollegeofElectronicScienceandEngineering， JilinUniversity，Changchun130012，China) Abstract：One-dimensionZnO，TiO2andSnO2havebeenpreparedviahydrothermalnadelectrospinningmethods，andtheir sensingpropertiestogasandhumidityhavebeeninvestigated．Theseone—dimensionnanomaterialsexhibitquickresponseandrecov— ery．TheresponseandrecoverytimesofZnOnanorods(from l1％RHto95％RH)preparedbyhydrothermalmethodrae5nad10 Srespectively，theresponseandrecoverytimesofKC1一dopedTiO2nanofibe~ (from11％RHto95％RH)prepraedbyelectrospin— ningmethodrae3and4Srespectively，nad theresponseandrecoverytimesoftheSnO2nanofibersprepraed byelectrospinning methodto50ppm tolueneareabout1and5Srespectively． Keywords：one—dimension；nnaostructures；hydrothermalmethod；electrospinningmethod；ZnO；TiO2；SnO2 0 引言 SHIMADZUSSX一550)观察材料的形貌、尺寸大小。 纳米材料是指三维空间中至少有一个维度处于纳米尺度范 将合成的样品用去离子水混合 ，旋转涂覆在附带叉指状 围或由它们作为基体单元构成的材料。在各种纳米材料中，一 Ag—Pd电极的氧化铝衬底上形成敏