具有高空间分辨力整形环形光式差动共焦测量法.pdfVIP

具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量法1 * 冯政德，赵维谦 ，邱丽荣 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系（150001 ） * E-mail: zwq669@126.com 摘 要： 本文针对超精密三维微细结构工件测量时对高空间分辨力光触针测量传感器 （LPS ）的迫切需求，本文提出一种新的具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量方 法（shaped annular beam differental confocal measurement method-SABDCMM ）。该SABDCMM 通过整形环形光式共焦测量法（ shaped annular beam confocal measurement method-SABCMM ）锐化LPS 爱里斑主瓣，改善LPS 横向分辨力