2014年《微电子学概论》--B01.pptVIP

微电子学概论 张 兴 北京大学微电子学研究所 参考书：《微电子学概论》 张兴/黄如/刘晓彦 北京大学出版社 2000年1月 本课程的目的 什么是微电子学和微电子学是研究什么的； 对微电子学的发展历史、现状和未来有一个比较清晰的认识； 初步掌握半导体物理、半导体器件物理、集成电路工艺、集成电路设计、集成电路CAD方法、MEMS技术等基本概念，对微电子学的整体有一个比较全面的认识。 主 要 内 容 微电子技术简介 半导体物理和器件物理基础 大规模集成电路基础 集成电路制造工艺 集成电路设计 集成电路设计的CAD系统 几类重要的特种微电子器件 微机电系统 微电子技术发展的规律和趋势 绪 论 什么是微电子学 晶体管的发明 集成电路的发展历史 集成电路的分类 微电子学的特点 微电子学：Microelectronics 微电子学——微型电子学 核心——集成电路 集成电路： Integrated Circuit，缩写IC 通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片（如硅或砷化镓）上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能 封装好的集成电路 集成电路芯片的显微照片 64M SDRAM （华虹NEC生产） 芯片面积5.89×9.7=