2014年Chp1-MEMS(up-load).pptVIP

二、微构件机械特性 微构件特性——很大程度上依赖于构成材料机械物理特性值。因此，在微构件设计上，必须考虑材料弹性模量、泊松比、内应力、破坏应力、疲劳强度、固有频率以及热传导率等机械物理特性。 §1.3 微型驱动器 微执行器(micro-actuator)—— 将不同控制信号变为微小动作以实现某种功能，因而成为微机械研究的重要课题。 目前已研制出电磁式电机、超声波电机、压电电机、形状记忆合金（SMA）微执行器、静电电机等微执行器。 微位移结构与部件 微动操作台 三维驱动微动台 压电驱动微夹持手 微夹持器 §1.4 微型传感器 一、微硅加速度计 二、电子隧道传感器 一、微硅加速度计 原理—— 敏感质量、挠性梁及框架是由一片单晶硅经各向异性刻蚀面成的。玻璃片内表面用淀积金属方法产生极板及引线图形。摆片厚度比框架薄,作为金属电极和摆片之间的间隙。这样，摆片在间隙内可自由活动，并与玻璃上的电极形成三端差动电容。 电容式静电力平衡摆式硅加速度计 二、电子隧道传感器 八十年代中期开始，将扫描隧道显微镜（SEM）电子隧道原理应用于传感器设计；同期，微电子机械系统技术发展有力支持了传感器微型化、集成化。 以美国为代表，开发和制成了基于电子隧道原理的微型加速度计、红外探测器、磁强计、触觉传感器。 电子隧道传感器具有灵敏度高、体积小、能