2014年第4章 MEMS微传感器的工作原理(第1部分).pptVIP

微型麦克风 微麦克风测量的是声压，要求灵敏度高，频带宽。 瑞士电子与微技术公司所制作的电容式微麦克风，利用体硅工艺制作，重掺杂自停止形成敏感膜和有孔固定电极。 清华微电子所研制的微型克风，表面工艺与体硅工艺结合制作，在单片硅片上实现了主要结构，采用纹膜结构提高灵敏度。 微传感器的实例(2)——光学 光学传感器的原理 电子吸收光子，从而向高能级跃迁。能级跃迁的类型： 1）物体从价带向导带跃迁——光伏效应 2）物体从导带向价带跃迁——光电效应 3）向稳定能级的跃迁——双折射，克耳与光电效应 4）跃迁到中间能级态和返回到基态 5）其它类似激子的结构（电子和空穴形成了具有一系 列显著能级、类似氢的分子）。 当入射光光子的能量大于被照射材料的逸出功时，就有光电子发射，称为外光电效应。 利用这种效应制成的传感器有真空光电管、光电倍增管等。 当物体受光照射后，其内部原子释放出电子，但这些电子并不逸出物体表面仍留在内部，使物体的电阻率发生变化或产生光电动势的现象称为内光电导效应。前者称为光电导效应，后者称为伏打效应。 利用半导体光电导效应可制成光敏电阻 其基本原理是辐射时半导体材料中的电荷载流子（包括电子和空穴）的增殖使其电阻率发生变化。 光中的光子和固体中吸收光的电子的相互作用原理在量子物理学中已经比较完善。 微光学传感器已经可以测量出光的强度。具有强光电效应的固态材料可用作这种传感材料。 如图所示，当透光性较强的半导体基体A接受光子能量后，两光敏电阻的连接处可产生电势。产生的电势可以通过电桥电路中电阻的改变测量出来。 一种特殊的材料，当有光照时其自身电阻会发生变化。 图中的光电二极管由p型和n型掺杂的半导体层组成 图中的光电子管由p－、n－和p－掺杂层组成。入射的光子能量可以被转换成从这些器件中输出的电流。 热电偶是测量热的最常用的传感器 工作原理：依靠两个不同金属线的末端产生的电动势，此电动势在两个导线的交节点（称为节点）被加热的情况下产生。 热电偶传感器 微传感器的实例(3)——热学 (5)谐振式敏感原理 当加速度计连接的外壳的振动频率接近器件的固有频率时，共振就会发生；也就是β＝ω/ωn→1.0。检测质量在这个频率下振幅达到峰值。对微加速度计而言，器件在这一频率提供了最灵敏的输出。这种振动测量器件在共振频率处的峰值灵敏度的优势已经在微传感器设计中被利用。 Howe[1987]发展了一个分析承受纵向力的振动梁在模态1时的固有频率的理论 y(x,t)满足 其中 是梁单位长度的质量 (6)热对流式敏感原理 向加热元件施加一定的热功率，加热元件周围形成温度场，流体流动使温度场发生变化，分别位于上下游的检测元件之间就会产生温差。 被测流体的质流量 与加热件上下游端的温度差?T之间的关系为： P:加热功率，J：热功当量 cp：被测流体的定压比热 传感器 类型 测量 范围 精度 频响 线性 度 信号处理电路 结构 工艺 技术成 熟性 压阻式 大 中 高 较好 简单电桥电路 简单 好 电容式 小 高 中 较好 高灵敏度的开关 电容或电桥电路 复杂 差 谐振式 小 高 中 较好 宽频带闭环 谐振回路 复杂 差 压电式 大 低 高 较好 电荷放大器 简单 好 隧道式 小 高 高 较差 高灵敏度电流 检测电路 复杂 差 热对流 式 大 中 低 一般 热敏电阻电桥 简单 差 各种敏感原理特点比较 各种敏感原理的优缺点 优点 缺点 静电敏感 材料简单 需要较大的器件尺寸以得到足够大的电容 较低的工作电流与工作电压 信号读出电路复杂 响应速度快 对微粒与湿度敏感 热敏感 材料简单 相对较大的功耗 省去了可动部件 相对静电敏感响应速度较慢 压阻敏感 高灵敏度 需要硅掺杂工艺以获取高性能的压敏电阻 材料简单（金属应变计） 对环境温度变化敏感 压电敏感 电信号自产生能力，无需外加电源 材料生长和制造工艺流程复杂，不能在高温条件下工作 微传感器的实例(1)——力学 微加速度传感器 微陀螺仪 微压力传感器 微麦克风 微加速度传感器 主要用于测量物体运动过程中的加速度：过载、振动和冲击 压阻式、电容式、压电式、隧道电流式微加速度计。 压阻式 挠度 应力 一阶固有频率 阻尼比 压敏电阻 空隙 玻璃盖板 质量块 导电胶 引线 第一个微加速度计的剖面结构示意图 梁 基座 基座 东南大学研制的压阻式大加速度计，在同一块芯片上设计了两种结构传感器——单悬臂梁和双悬臂梁结构 单悬臂梁微加速度计 双悬臂梁微加速度计 东南大学压阻式微加速度计样品 SEM照片 美国IC Sensor公司生产的压阻式加速度计 电容式 悬浮支架 加速度 固定支架 导