BST铁电薄膜的微观结构研究.pdfVIP

——一—— 竺!查竺!竺!!!竺!兰!竺 BST铁电薄膜的微观结构研究 冷文建+，杨传仁‘2，罗世希，符春林，陈宏伟，廖隶轩 (电子科技大学，徽电子与固体电子学院，成都，610054) r微波晶化法对BST t薄膜进行退火。和气氛炉退火相比较，微渡晶化法退火之后的BST．。薄膜，晶粒尺寸小而分布均 匀，薄膜表面平均粗糙度(RMS)较小。利用X射线衍射对薄膜晶体结构进行分析，我们发现采用微波晶化法进行后 。C条件下，两者退火方式的薄膜结晶度几乎相同。 关健词： B8哆燕膜，微波晶化法，X射线衍射《l萝，原子力显微镜(§翠D平均粗糙度(RMs) ／轨卜 o o “ onthemicrostructureofBSTthin Study film