Y分支波导电光调制器波形倾斜研究论文.pdfVIP

第五届全国光子学大会会议论文集 第三分册：集成光学 Y 分支波导电光调制器波形倾斜研究 杜天敏 徐宇新 航天时代电子公司研究院 北京 100854 摘要：本文采用简化模型分析了 SiO2 薄膜中的移动电荷对 Y 分支波导电光调制器输出波 形的影响，并根据测试数据进行拟合，拟合结果符合测试情况。 关键词： SiO2 薄膜 移动电荷 Y 分支波导电光调制器 0 引言 在调试光纤陀螺时部分Y 波导的输出波形异常,见图 1，鉴于半导体行业有类似情况，将其原因 归结为SiO 层中的移动电荷作用。早在六十年代，半导体行业已经发现SiO 层中的移动电荷引起器 2 2 件性能异常，对此有比较详细的研究（1）、（2），其机理主要是：对于电极－二氧化硅－硅结构的 + MOS 器件，给