单轴微拉伸MEMS材料力学性能测试系统集成_汪红.pdfVIP

18 5 Vol. 18 No. 5 2010 5 Optics and Precision Engineering May 2010 1004-924X( 2010) 05- 1204-08 MEMS 汪 红, 汤 俊, 刘 瑞, 陈 晖, 丁桂甫 ( 上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工技术 育部重点实验室 微米/ 纳米加工国家重点实验室, 上海200240) : , MEMS , , , UV-LIGA Ni , Visual Basic , Ni , , 0.01 Lm, mN Ni 94. 5 GPa, 1. 76 GPa : 材料力学测试; 微机电系统; 单轴微拉伸; 有限元模拟; UV-LIGA; 杨氏模量; 镍 :TB 02. : A doi