结项论文《nc-Si(Al2O3+SiO2)复合膜制备及其热电特性》.docVIP

nc-Si:(Al2O3+SiO2)复合膜的制备及 其热电特性 陕西师范大学 郝培风，高斐，苗锟，刘立慧，孙杰， 权乃承，刘晓静，张君善 （陕西师范大学物理与信息技术学院，西安710062） 指导教师：高斐 副教授 摘要：400nm的铝膜，并在空气中温度为580℃的条件下退火1小时。在退火过程中Al与石英中的SiO2反应形成纳米硅nc-Si:(Al2O3+SiO2)复合膜。利用X射线衍射（XRD）（Raman）（SEM）740nm，估算出薄膜中纳米硅（nc-Si ）25nm。实验发现该nc-Si:(Al2O3+SiO2)复合膜有热电特性，研究了其电阻率及Seebeck系数随温度（293K～393K）的变化关系，在293K和393K该薄膜的Seebeck系数分别约为620μV/K和480μV/K。 关键词：热电薄膜；nc-Si:(Al2O3+SiO2)复合膜；热蒸发；Seebeck 系数 1. 引 言： 近年来环境污染、能源危机及某些器件的小型化的要求（如制冷器和发电机小型化等）等问题日益凸显，迫切需要一些新的能源转换技术解决这些问题。热电转换是具有潜能的能源转换技术之一，热电转换能够将热能无公害地转变成电能，而且具有无排放、无机械传动部分等优点[1]。目前较成熟的热电材料主要有Bi2 Te3[2,3,4,5]和PbTe [6]合金，这类材料的热电性能较好，但其大多资源相对稀少